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一種雙質量塊音叉式角速率陀螺儀.pdf

摘要
申請專利號:

CN201610878920.2

申請日:

2016.10.08

公開號:

CN106813655A

公開日:

2017.06.09

當前法律狀態:

實審

有效性:

審中

法律詳情: 實質審查的生效IPC(主分類):G01C 19/5621申請日:20161008|||公開
IPC分類號: G01C19/5621(2012.01)I 主分類號: G01C19/5621
申請人: 南京理工大學
發明人: 楊海波; 蘇巖; 吳志強; 張晶
地址: 210094 江蘇省南京市玄武區孝陵衛200號
優先權:
專利代理機構: 南京理工大學專利中心 32203 代理人: 朱沉雁
PDF完整版下載: PDF下載
法律狀態
申請(專利)號:

CN201610878920.2

授權公告號:

|||

法律狀態公告日:

2017.07.04|||2017.06.09

法律狀態類型:

實質審查的生效|||公開

摘要

本發明公開了一種雙質量塊音叉角速率陀螺儀,包括上層真空封裝蓋板、下層硅襯底和中層單晶硅片,中層單晶硅片上設有陀螺機械結構,所述陀螺機械結構的兩個子結構對稱分布在質量塊連接機構和兩個桁架與水平直梁的組合機構的兩側,第一U型梁沿子結構的長邊設置,且位于長邊的兩端,桁架與水平直梁的組合機構通過第一U型梁與子結構連接,U型梁組合梁沿子結構的長邊設置;直梁沿子結構寬度方向設置,用于連接子結構兩側的第一U型梁。本發明既能實現驅動模態與檢測模態為第一階模態和第二階模態,又能有效抑制所有常見的驅動同向、檢測同向和Z向模態等干擾模態,其一致性強,抗振動干擾能力強。

權利要求書

1.一種雙質量塊音叉角速率陀螺儀,其特征在于:包括上層真空封裝蓋板、下層硅襯底
和中層單晶硅片,中層單晶硅片上設有陀螺機械結構,所述陀螺機械結構包括質量塊連接
機構(2)、兩個子結構(1)、兩個桁架與水平直梁的組合機構(3)、兩個U型梁組合梁(4)、八個
第一U型梁(6)和四個直梁(12),所述兩個子結構(1)對稱分布在質量塊連接機構(2)和兩個
桁架與水平直梁的組合機構(3)的兩側,質量塊連接機構(2)和兩個桁架與水平直梁的組合
機構(3)呈直線分布,且質量塊連接機構(2)位于兩個桁架與水平直梁的組合機構(3)之間,
第一U型梁(6)沿子結構(1)的長邊設置,且位于長邊的兩端,桁架與水平直梁的組合機構
(3)通過第一U型梁(6)與子結構(1)連接,U型梁組合梁(4)沿子結構(1)的長邊設置,且位于
遠離質量塊連接機構(2)一側的兩個第一U型梁(6)的中間;直梁(12)沿子結構(1)寬度方向
設置,用于連接子結構(1)兩側的第一U型梁(6)。
2.根據權利要求1所述的雙質量塊音叉角速率陀螺儀,其特征在于:位于子結構(1)同
一側的兩個U型梁(6)開口方向相對。
3.根據權利要求1所述的雙質量塊音叉角速率陀螺儀,其特征在于:所述質量塊連接機
構(2)包括十字梁(201)和4個第二U型梁(202),十字梁(201)寬度方向的兩端分別通過兩個
開口相對設置的第二U型梁(202)與子結構(1)連接,十字梁(201)長度方向的兩端均與上層
真空封裝蓋板和下層硅襯底錨固。
4.根據權利要求3所述的雙質量塊音叉角速率陀螺儀,其特征在于:所述兩個開口相對
設置的第二U型梁(202)的開口端相連。
5.根據權利要求1所述的雙質量塊音叉角速率陀螺儀,其特征在于:所述桁架與水平直
梁的組合機構(3)包括V型桁架(301)和水平直梁(302),V型桁架(301)的頂點與水平直梁
(302)中心連接,水平直梁(302)與質量塊連接機構(2)同側,V型桁架(301)的兩個自由端與
第一U型梁(6)封閉端側壁連接,水平直梁(302)兩端均與上層真空封裝蓋板和下層硅襯底
錨固。
6.根據權利要求1所述的雙質量塊音叉角速率陀螺儀,其特征在于:所述U型梁組合梁
(4)包括兩個第三U型梁(401),兩個第三U型梁(401)開口端相連,連接處外壁與上層真空封
裝蓋板和下層硅襯底錨固。

關 鍵 詞:
一種 質量 音叉 速率 陀螺儀
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