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拋光液加熱裝置及拋光溫度控制方法.pdf

摘要
申請專利號:

CN201610040624.5

申請日:

2016.01.21

公開號:

CN105538128A

公開日:

2016.05.04

當前法律狀態:

駁回

有效性:

無權

法律詳情: 發明專利申請公布后的駁回IPC(主分類):B24B 37/015申請公布日:20160504|||實質審查的生效IPC(主分類):B24B 37/015申請日:20160121|||公開
IPC分類號: B24B37/015(2012.01)I; B24B57/02; F24H1/10; F24H9/18; F24H9/20 主分類號: B24B37/015
申請人: 蘇州新美光納米科技有限公司
發明人: 夏秋良
地址: 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業園區金雞湖大道99號納米城西北區20幢1樓南
優先權:
專利代理機構: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104 代理人: 曹祖良;張濤
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201610040624.5

授權公告號:

||||||

法律狀態公告日:

2019.05.03|||2016.06.01|||2016.05.04

法律狀態類型:

發明專利申請公布后的駁回|||實質審查的生效|||公開

摘要

本發明涉及一種加熱裝置及方法,尤其是一種拋光液加熱裝置及拋光溫度控制方法,屬于晶片拋光的技術領域。按照本發明提供的技術方案,所述拋光液加熱裝置,包括拋光液輸送管;在所述拋光液輸送管的末端設置用于對拋光液輸送管內的拋光液進行加熱的拋光液加熱器,在拋光液輸送管的管道出口處設置用于檢測拋光液溫度的拋光液溫度檢測器,所述拋光液溫度檢測器以及拋光液加熱器均與加熱控制器連接,所述加熱控制器還與用于檢測拋光環境溫度的拋光環境溫度檢測器;本發明結構緊湊,能有效實現對晶片拋光過程的溫度控制,提高晶片拋光的質量及速度,適應范圍廣,安全可靠。

權利要求書

1.一種拋光液加熱裝置,包括拋光液輸送管(4);其特征是:在所述拋光液輸送管(4)的末端設置用于對拋光液輸送管(4)內的拋光液進行加熱的拋光液加熱器,在拋光液輸送管(4)的管道出口處設置用于檢測拋光液溫度的拋光液溫度檢測器(6),所述拋光液溫度檢測器(6)以及拋光液加熱器均與加熱控制器連接,所述加熱控制器還與用于檢測拋光環境溫度的拋光環境溫度檢測器;拋光環境溫度檢測器能向加熱控制器拋光環境溫度,拋光液溫度檢測器(6)能向加熱控制器傳輸拋光液輸送管(4)出口處的拋光液溫度,加熱控制器將拋光液溫度、拋光環境溫度與所述加熱控制器內的拋光預置溫度比較,并控制拋光液加熱器的加熱狀態,直至使得拋光環境溫度與拋光預置溫度相一致。2.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置,其特征是:所述拋光液加熱器包括兩個用于對拋光液進行加熱的加熱板(5),所述加熱板(5)間具有拋光液流動的加熱空隙,,所述加熱板(5)為半導體加熱器、電阻絲加熱器或水浴加熱器。3.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置,其特征是:所述拋光液加熱器包括呈對稱分布的夾板(7),在所述夾板(7)間設置若干用于對拋光液進行加熱的加熱柱(8)。4.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置,其特征是:所述拋光液加熱器包括纏繞在拋光液輸送管(4)上的加熱線圈(9)或允許拋光液輸送管(4)纏繞的加熱棒(10)。5.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置,其特征是:所述拋光液加熱器包括套在拋光液輸送管(4)外的加熱介質管,所述加熱介質管與拋光液輸送管(4)間具有與拋光液進行溫度交換的高溫加熱介質。6.根據權利要求1所述的拋光液加熱裝置,其特征是:所述拋光液輸送管(4)上還設有調整輸送管(11),所述調整輸送管(11)與拋光液輸送管(4)相連通,拋光液加熱器能對拋光液輸送管(4)內的拋光液以及調整輸送管(11)內的調整液體進行加熱。7.一種晶片用拋光液的拋光溫度控制方法,其特征是,所述拋光溫度控制方法包括如下步驟:(a)、在所述拋光液輸送管(4)的末端設置用于對拋光液輸送管(4)內的拋光液進行加熱的拋光液加熱器,并在拋光液輸送管(4)的管道出口處設置用于檢測拋光液溫度的拋光液溫度檢測器(6);所述拋光液溫度檢測器(6)以及拋光液加熱器均與加熱控制器連接,所述加熱控制器還與用于檢測拋光環境溫度的拋光環境溫度檢測器;(b)、加熱控制器將拋光液溫度、拋光環境溫度與所述加熱控制器內的拋光預置溫度比較,并控制拋光液加熱器的加熱狀態,直至使得拋光環境溫度與拋光預置溫度相一致。8.根據權利要求7所述晶片用拋光液的拋光溫度控制方法,其特征是:所述拋光液加熱器包括纏繞在拋光液輸送管(4)上的加熱線圈(9)或允許拋光液輸送管(4)纏繞的加熱棒(10)。9.根據權利要求7所述晶片用拋光液的拋光溫度控制方法,其特征是:所述拋光液輸送管(4)上還設有調整輸送管(11),所述調整輸送管(11)與拋光液輸送管(4)相連通,拋光液加熱器能對拋光液輸送管(4)內的拋光液以及調整輸送管(11)內的調整液體進行加熱;拋光液溫度檢測器(6)檢測拋光液輸送管(4)出口處的液體溫度,加熱控制器將液體溫度、拋光環境溫度與所述加熱控制器內的拋光預置溫度比較,并控制拋光液加熱器的加熱狀態,直至使得拋光環境溫度與拋光預置溫度相一致。

關 鍵 詞:
拋光 加熱 裝置 溫度 控制 方法
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