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基于溶膠射流靶的LPPEUV光源系統.pdf

摘要
申請專利號:

CN201510270184.8

申請日:

2015.05.25

公開號:

CN104914680A

公開日:

2015.09.16

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):G03F 7/20申請日:20150525|||公開
IPC分類號: G03F7/20 主分類號: G03F7/20
申請人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
發明人: 張宗昕; 冷雨欣; 王成; 趙全忠; 王關德; 程欣; 李儒新
地址: 201800上海市嘉定區上海市800-211郵政信箱
優先權:
專利代理機構: 上海新天專利代理有限公司31213 代理人: 張澤純; 張寧展
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201510270184.8

授權公告號:

||||||

法律狀態公告日:

2017.03.08|||2015.10.14|||2015.09.16

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

一種基于溶膠射流靶的LPP-EUV光源系統,由溶膠發生裝置、溶膠噴射-循環裝置、LPP-EUV發生裝置和泵浦激光源所構成。首先由溶膠發生裝置產生溶膠,再經溶膠噴射-循環裝置而在LPP-EUV發生裝置內形成溶膠射流靶。由泵浦激光源輸出泵浦激光,進入LPP-EUV發生裝置后作用于溶膠射流靶。本發明基于溶膠射流靶增強LPP-EUV光源的可靠性與穩定性,為EUV光刻系統的高效穩定運行提供有力保障。

權利要求書

權利要求書
1.  一種基于溶膠射流靶的LPP-EUV光源系統,其特征在于,包括:
溶膠發生裝置(1),用于產生溶膠(M1);
溶膠噴射-循環裝置(2),用于形成溶膠射流靶(M2);
泵浦激光源(3),用于輸出泵浦激光(L1);
LPP-EUV發生裝置(4),為泵浦激光(L1)作用于溶膠射流靶(M2)提供反應環境。

2.  根據權利要求1所述的基于溶膠射流靶的LPP-EUV光源系統,其特征在于,所述的溶膠發生裝置(1)包括:噴嘴(101)、具有吸入口(G1)的接受室(102)、收縮管(103)、混合室(104)和擴散管(105);
所述的噴嘴(101)置于接受室(102)的一端內,該接受室(102)的另一端經所述的收縮管(103)與所述的混合室(104)相連,該混合室與所述的擴散管(105)相連;
流體介質(C1)通過噴嘴(101)進入接受室(102),由于文丘里效應使得靶材納米顆粒(C2)經吸入口(G1)進入接受室(102),流體介質(C1)與靶材納米顆粒(C2)經收縮管(103)進入混合室(104),兩者在混合室(104)混合后通過擴散管(105)的輸出口(G2)輸出溶膠(M1)。

3.  根據權利要求1所述的基于溶膠射流靶的LPP-EUV光源系統,其特征在于,
所述的溶膠噴射-循環裝置(2)包括:緩存池(201)、第一循環動力泵(202a)和溶膠噴射器(203a)、第一輸送管道(204a)、第二循環動力泵(202b)、溶膠收集器(203b)和第二輸送管道(204b);
所述的LPP-EUV發生裝置(4)包括:側壁上設置有光學窗片(401)的真空室(402),使泵浦激光(L1)經該光學窗片(401)進入真空室(402),在真空室(402)內、沿泵浦激光(L1)的傳播方向還設置有透鏡(403);
所述的溶膠噴射器(203a)和溶膠收集器(203b)設置在該真空室(402)內,所述的緩存池(201)通過所述的第一輸送管道(204a)經所述的第一循環動力泵(202a)與所述的溶膠噴射器(203a)的輸入端相連,所述的溶膠收集器(203b)的輸出端通過所述的第二輸送管道(204b)經所述的第二循環動力泵(202b)與所述的緩存池(201)相連;
所述的溶膠(M1)進入緩存池(201)后,在第一循環動力泵(202a)的作用下通過第一輸送管道(204a),經由溶膠噴射器(203a)在真空室(402)內形成溶膠射流靶(M2),進入溶膠收集器(203b)后又在第二循環動力泵(202b)的作用 下通過第二輸送管道(204b),終而返回至緩存池(201);所述的泵浦激光(L1)經凸透鏡(403)聚焦至溶膠射流靶(M2)產生EUV輻射(L2)。

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基于 溶膠 射流 LPPEUV 光源 系統
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