鬼佬大哥大
  • / 8
  • 下載費用:30 金幣  

光刻機換臺過程中公轉電機殘留震蕩抑制的控制方法.pdf

關 鍵 詞:
光刻 機換臺 過程 公轉 電機 殘留 震蕩 抑制 控制 方法
  專利查詢網所有資源均是用戶自行上傳分享,僅供網友學習交流,未經上傳用戶書面授權,請勿作他用。
摘要
申請專利號:

CN201510353872.0

申請日:

2015.06.24

公開號:

CN104914682A

公開日:

2015.09.16

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||著錄事項變更IPC(主分類):G03F 7/20變更事項:發明人變更前:陳興林 韓記曉 宋法質 萬勇利 張常江 劉洋 趙為志 何良辰 宋躍 陳震宇變更后:劉楊 李理 宋法質 譚久彬|||實質審查的生效 IPC(主分類):G03F 7/20申請日:20150624|||公開
IPC分類號: G03F7/20 主分類號: G03F7/20
申請人: 哈爾濱工業大學
發明人: 陳興林; 韓記曉; 宋法質; 萬勇利; 張常江; 劉洋; 趙為志; 何良辰; 宋躍; 陳震宇
地址: 150000黑龍江省哈爾濱市南崗區西大直街92號
優先權:
專利代理機構: 哈爾濱龍科專利代理有限公司23206 代理人: 高媛
PDF完整版下載: PDF下載
法律狀態
申請(專利)號:

CN201510353872.0

授權公告號:

104914682B|||||||||

法律狀態公告日:

2017.05.03|||2017.04.12|||2015.11.04|||2015.09.16

法律狀態類型:

授權|||著錄事項變更|||實質審查的生效|||公開

摘要

光刻機換臺過程中公轉電機殘留震蕩抑制的控制方法,它屬于光刻機雙工件臺框架運動控制的高精度快速定位控制的技術領域。它的方法步驟為:一:在線狀態下給公轉電機施加階躍給定,幅值為10度,通過上位機保存公轉電機在該給定下的運行曲線數據;二:把上位機保存的曲線數據,作為simulink仿真中的Y_,進行離線整形;三:在離線情況下,運用改進的蟻群算法得到最優輸入整形器參數;四:給公轉電機施加S曲線給定,目標位置為30度,利用得到的最優輸入整形器參數在在線狀態下進行輸入整形,直接對輸入進行整形,對公轉電機進行開環前饋控制。本發明能對公轉電機的S曲線給定進行輸入整形,可以使公轉電機實現快速定位,定位時間由6S減少到2S。

關于本文
本文標題:光刻機換臺過程中公轉電機殘留震蕩抑制的控制方法.pdf
鏈接地址:http://www.wwszu.club/p-6373504.html
關于我們 - 網站聲明 - 網站地圖 - 資源地圖 - 友情鏈接 - 網站客服 - 聯系我們

[email protected] 2017-2018 zhuanlichaxun.net網站版權所有
經營許可證編號:粵ICP備17046363號-1 
 


收起
展開
鬼佬大哥大 765828719905847044437348411078396649528761864786079793150050332214126634624601184319336432883861300 (function(){ var bp = document.createElement('script'); var curProtocol = window.location.protocol.split(':')[0]; if (curProtocol === 'https') { bp.src = 'https://zz.bdstatic.com/linksubmit/push.js'; } else { bp.src = 'http://push.zhanzhang.baidu.com/push.js'; } var s = document.getElementsByTagName("script")[0]; s.parentNode.insertBefore(bp, s); })();