鬼佬大哥大
  • / 11
  • 下載費用:30 金幣  

一種三自由度光刻機雙工件臺框架氣浮補償方法.pdf

關 鍵 詞:
一種 自由度 光刻 雙工 框架 補償 方法
  專利查詢網所有資源均是用戶自行上傳分享,僅供網友學習交流,未經上傳用戶書面授權,請勿作他用。
摘要
申請專利號:

CN201510353919.3

申請日:

2015.06.24

公開號:

CN104914683A

公開日:

2015.09.16

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||著錄事項變更IPC(主分類):G03F 7/20變更事項:發明人變更前:陳興林 萬勇利 宋法質 韓記曉 張常江 趙為志 何良辰 劉洋 宋躍 陳震宇變更后:劉楊 陳震宇 宋法質|||實質審查的生效 IPC(主分類):G03F 7/20申請日:20150624|||公開
IPC分類號: G03F7/20 主分類號: G03F7/20
申請人: 哈爾濱工業大學
發明人: 陳興林; 萬勇利; 宋法質; 韓記曉; 張常江; 趙為志; 何良辰; 劉洋; 宋躍; 陳震宇
地址: 150000黑龍江省哈爾濱市南崗區西大直街92號
優先權:
專利代理機構: 哈爾濱龍科專利代理有限公司23206 代理人: 高媛
PDF完整版下載: PDF下載
法律狀態
申請(專利)號:

CN201510353919.3

授權公告號:

104914683B|||||||||

法律狀態公告日:

2017.06.13|||2017.05.31|||2015.11.04|||2015.09.16

法律狀態類型:

授權|||著錄事項變更|||實質審查的生效|||公開

摘要

一種三自由度光刻機雙工件臺框架氣浮補償方法,本發明屬于光刻機雙工件臺框架運動控制的高精度控制定位的技術領域。它的方法步驟為:在框架的一個長邊同一側固定安裝第一三角光傳感器、第二三角光傳感器,在框架的短邊上固定安裝第三三角光傳感器;設傳感器的測量值在初始值的基礎上變化了△m1,△m2,△m3,利用△m1,△m2求角度θ;以第二三角光傳感器為研究對象,計算三個運動對第二三角光傳感器讀數的影響;得出框架沿Y方向偏移的距離△Y,在X向偏移的距離△X;根據θ,△X,△Y的值進行電機給定補償;補償公轉電機控制給定,補償X/Y電機的控制給定。本發明可以實現光刻機雙工件臺的換臺補償,對于外界的對框架的干擾可以實時動態補償宏動電機的控制給定,達到順利換臺的目的。

關于本文
本文標題:一種三自由度光刻機雙工件臺框架氣浮補償方法.pdf
鏈接地址:http://www.wwszu.club/p-6373511.html
關于我們 - 網站聲明 - 網站地圖 - 資源地圖 - 友情鏈接 - 網站客服 - 聯系我們

[email protected] 2017-2018 zhuanlichaxun.net網站版權所有
經營許可證編號:粵ICP備17046363號-1 
 


收起
展開
鬼佬大哥大 7884594549497295674160727274212694903549832595204663150350298589252352234481258469862167484472972 (function(){ var bp = document.createElement('script'); var curProtocol = window.location.protocol.split(':')[0]; if (curProtocol === 'https') { bp.src = 'https://zz.bdstatic.com/linksubmit/push.js'; } else { bp.src = 'http://push.zhanzhang.baidu.com/push.js'; } var s = document.getElementsByTagName("script")[0]; s.parentNode.insertBefore(bp, s); })();