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一種陣列基板及其制備方法、光學觸控屏和顯示裝置.pdf

摘要
申請專利號:

CN201510239499.6

申請日:

2015.05.12

公開號:

CN104898896A

公開日:

2015.09.09

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):G06F 3/042申請日:20150512|||公開
IPC分類號: G06F3/042 主分類號: G06F3/042
申請人: 京東方科技集團股份有限公司; 北京京東方顯示技術有限公司
發明人: 白金超; 郭總杰; 丁向前; 劉耀; 劉曉偉; 陳曦
地址: 100015北京市朝陽區酒仙橋路10號
優先權:
專利代理機構: 北京同達信恒知識產權代理有限公司11291 代理人: 黃志華
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201510239499.6

授權公告號:

||||||

法律狀態公告日:

2018.06.22|||2015.10.07|||2015.09.09

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

本發明公開了一種陣列基板及其制備方法、光學觸控屏和顯示裝置,以解決現有技術的內嵌式光學觸摸屏制備工藝復雜、成本高的問題。所述陣列基板,包括形成于柵極金屬層且沿行方向延伸的多條第一感應線,形成于半導體層且彼此絕緣的多個第一感光元件和多個第二感光元件,形成于源漏極金屬層且沿列方向延伸的多條第二感應線,以及形成于柵極金屬層的遮擋電極,遮擋電極位于第二感光元件的下方;位于同一行的第一感光元件與同一條第一感應線電連接,位于同一列的第二感光元件與同一條第二感應線電連接,第一感光元件和第二感光元件用于根據外部光線產生電流信號,第一感應線和第二感應線用于分別傳輸第一感光元件和第二感光元件產生的電流信號。

權利要求書

權利要求書
1.  一種陣列基板,包括形成于襯底基板上的柵極金屬層、半導體層、源漏極金屬層和像素電極層,所述柵極金屬層包括柵線和薄膜晶體管的柵電極,所述漏極金屬層包括數據線、薄膜晶體管的源電極和漏電極,所述半導體層包括薄膜晶體管的有源層;其特征在于,所述陣列基板還包括形成于所述柵極金屬層且沿行方向延伸的多條第一感應線,形成于所述半導體層且彼此絕緣的多個第一感光元件和多個第二感光元件,形成于所述源漏極金屬層且沿列方向延伸的多條第二感應線,以及形成于所述柵極金屬層的遮擋電極,所述遮擋電極位于所述第二感光元件的下方;
位于同一行的所述第一感光元件與同一條所述第一感應線電連接,位于同一列的所述第二感光元件與同一條所述第二感應線電連接,所述第一感光元件和所述第二感光元件用于根據外部光線產生電流信號,所述第一感應線和所述第二感應線用于分別傳輸所述第一感光元件和所述第二感光元件產生的電流信號。

2.  如權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述陣列基板還包括形成于所述像素電極層的連接電極,所述第一感應線與所述第一感光元件通過所述連接電極電連接。

3.  如權利要求2所述的陣列基板,其特征在于,所述陣列基板還包括形成于所述源漏極金屬層的過渡電極,所述連接電極與所述第一感光元件通過所述過渡電極電連接。

4.  如權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述第一感應線與所述柵線平行,所述第二感應線與所述數據線平行。

5.  如權利要求4所述的陣列基板,其特征在于,所述柵線和所述數據線限定多個像素單元,以一個所述第一感光元件和一個所述第二感光元件為感光元件組,一個所述感光元件組對應一個所述像素單元,或者一個所述感光元件組對應多個所述像素單元。

6.  如權利要求1至5任一項所述的陣列基板,其特征在于,所述第一感光元件和所述第二感光元件為非晶硅材料形成。

7.  一種光學觸控屏,其特征在于,包括權利要求1至6任一項所述的陣列基板。

8.  如權利要求7所述的光學觸控屏,其特征在于,所述光學觸控屏還包括彩膜基板,所述彩膜基板包括黑矩陣,所述黑矩陣在所述陣列基板上的垂直投影與所述第一感光元件和所述第二感光元件在所述陣列基板上的垂直投影無交集。

9.  一種顯示裝置,其特征在于,包括權利要求7或8所述的觸控屏。

10.  一種陣列基板的制備方法,其特征在于,包括:
在襯底基板上形成柵極金屬薄膜,通過構圖工藝形成包括薄膜晶體管的柵電極、柵線、第一感應線和遮擋電極的柵極金屬層;
在所述柵極金屬層之上依次形成柵極絕緣層、半導體層薄膜和源漏極金屬薄膜,在所述源漏極金屬薄膜上涂覆光刻膠并進行半曝光處理;
通過刻蝕工藝去除半曝光處理后暴露的所述源漏極金屬薄膜,形成包括數據線、薄膜晶體管的源電極和漏電極、第二感應線和過渡電極的源漏極金屬層;
通過刻蝕工藝去除半曝光對應區域的半導體層薄膜,形成包括薄膜晶體管的有源層、第一感光元件和第二感光元件的半導體層,所述第二感光元件位于所述第二感應線下方并接觸連接;
在所述源漏極金屬層之上形成鈍化層,并形成分別與所述第一感應線和所述第一感光元件位置對應的過孔;
在所述鈍化層之上形成像素電極層薄膜,通過構圖工藝形成包括像素電極和連接電極的像素電極層。

關 鍵 詞:
一種 陣列 及其 制備 方法 光學 觸控屏 顯示裝置
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