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一種雙工件臺系統安全保護方法.pdf

摘要
申請專利號:

CN201510561426.9

申請日:

2015.09.07

公開號:

CN105068386A

公開日:

2015.11.18

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||著錄事項變更IPC(主分類):G03F 7/20變更事項:發明人變更前:陳興林 宋法質 王一光 萬勇利 張常江 董岳 劉洋 何良辰 趙為志 韓記曉變更后:劉楊 宋法質 李理 譚久彬|||實質審查的生效IPC(主分類):G03F 7/20申請日:20150907|||公開
IPC分類號: G03F7/20 主分類號: G03F7/20
申請人: 哈爾濱工業大學
發明人: 陳興林; 宋法質; 王一光; 萬勇利; 張常江; 董岳; 劉洋; 何良辰; 趙為志; 韓記曉
地址: 150000黑龍江省哈爾濱市南崗區西大直街92號
優先權:
專利代理機構: 哈爾濱龍科專利代理有限公司23206 代理人: 高媛
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201510561426.9

授權公告號:

|||||||||

法律狀態公告日:

2017.04.12|||2017.04.05|||2015.12.16|||2015.11.18

法律狀態類型:

授權|||著錄事項變更|||實質審查的生效|||公開

摘要

一種雙工件臺系統安全保護方法,它屬于半導體制造裝備的技術領域。它的方法步驟一:在多個多路運動控制卡內分別設置多組字節大小的雙口RAM;二:多個多路運動控制卡中的FPGA以200us采樣周期,通過VME工控機中的VME自定義總線從信號采集卡獲取各電機的位置信息,并存放在相應的雙口RAM內;三:嵌入式主控CPU板通過VME總線獲取各多路運動控制卡內各電機的位置及位置誤差信息;四:上位機通過以太網接收來自嵌入式主控CPU板的數據,并判斷數據類型,當該數據為故障代碼時,彈出對話框,提示用戶出現故障,并顯示故障代碼。本發明基于VxWorks操作系統與VME總線工作,在系統某一機構發生故障時,利用軟件使本機構和其他機構停止運行,保障了雙工件臺系統的安全運行。

權利要求書

1.一種雙工件臺系統安全保護方法,其特征在于它的方法步驟為:步驟一:在多個多路運動控制卡(4)內分別設置多組8字節大小的雙口RAM,分別存放安全保護標志、各多路運動控制卡(4)所控制的各個電機的位置及位置誤差;步驟二:多個多路運動控制卡(4)中的FPGA以200us采樣周期,通過VME工控機(2)中的VME自定義總線(6)從信號采集卡(5)獲取各電機的位置信息,并存放在相應的雙口RAM內,FPGA每完成一次信號采集,觸發一次各多路運動控制卡(4)中的DSP的外部中斷;在DSP外部中斷程序內,DSP首先通過各多路運動控制卡(4)中的EMIF讀取FPGA內安全保護標志,當該標志不為0時,立即對各電機發送停止運行指令;若安全保護標志為0,則獲取FPGA的雙口RAM內的電機位置信息,并依據當前位置給定,對各電機進行PID控制,并將各電機的位置誤差值,通過EMIF寫進FPGA的位置誤差雙口RAM內;步驟三:嵌入式主控CPU板(3)通過VME總線(7)不斷獲取各多路運動控制卡(4)內各電機的位置及位置誤差信息;首先判斷各電機位置誤差及各電機之間的位置關系是否正常,若不正常,說明出現故障;出現故障后嵌入式主控CPU板(3)一方面將故障代碼通過VME總線(7)寫進各多路運動控制卡(4)的安全保護標志雙口RAM內,另一方面將故障代碼通過以太網(8)發給上位機(1);步驟四:上位機(1)通過以太網(8)接收來自嵌入式主控CPU板(3)的數據,并判斷數據類型,當該數據為故障代碼時,彈出對話框,提示用戶出現故障,并顯示故障代碼。

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一種 雙工 系統安全 保護 方法
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