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步進掃描光刻機的自消除振動力的掃描狹縫裝置.pdf

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步進 掃描 光刻 消除 振動 狹縫 裝置
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摘要
申請專利號:

CN201510428824.3

申請日:

2015.07.20

公開號:

CN105068380A

公開日:

2015.11.18

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):G03F 7/20申請日:20150720|||公開
IPC分類號: G03F7/20 主分類號: G03F7/20
申請人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
發明人: 林棟梁; 馬興華; 任冰強; 陳明; 黃惠杰
地址: 201800上海市嘉定區上海市800-211郵政信箱
優先權:
專利代理機構: 上海新天專利代理有限公司31213 代理人: 張澤純; 張寧展
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201510428824.3

授權公告號:

||||||

法律狀態公告日:

2017.04.05|||2015.12.16|||2015.11.18

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

一種步進掃描光刻機的自消除振動力的掃描狹縫裝置,特點在于該裝置包括狹縫基框、上組件、下組件、Y向平衡質量系統、右組件、左組件和X向平衡質量系統,本發明在不影響刀口的運動和定位的同時,可完全消除振動力。

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本文標題:步進掃描光刻機的自消除振動力的掃描狹縫裝置.pdf
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