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光取向裝置以及光取向方法.pdf

關 鍵 詞:
取向 裝置 以及 方法
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摘要
申請專利號:

CN201510486339.1

申請日:

2015.08.10

公開號:

CN105068322A

公開日:

2015.11.18

當前法律狀態:

撤回

有效性:

無權

法律詳情: 發明專利申請公布后的視為撤回IPC(主分類):G02F 1/1337申請公布日:20151118|||實質審查的生效IPC(主分類):G02F 1/1337申請日:20150810|||公開
IPC分類號: G02F1/1337 主分類號: G02F1/1337
申請人: 優志旺電機株式會社
發明人: 石井一正
地址: 日本東京都
優先權: 2014-247489 2014.12.06 JP
專利代理機構: 永新專利商標代理有限公司72002 代理人: 徐冰冰; 劉杰
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201510486339.1

授權公告號:

||||||

法律狀態公告日:

2018.05.25|||2015.12.16|||2015.11.18

法律狀態類型:

發明專利申請公布后的視為撤回|||實質審查的生效|||公開

摘要

一種光取向裝置以及光取向方法,在光取向處理中,進一步提高生產率,進一步提高質量。在兩個工作臺(21、22)上載置基板(S),以使得通過由照射單元(1)照射偏振光的照射區域(R)的方式利用工作臺移動機構(3)使兩個工作臺(21、22)交替地往復移動。控制工作臺移動機構(3)的控制單元(4)在各工作臺(21、22)通過照射區域(R)時維持慢的速度即恒定的設定通過速度,對于第一工作臺(21)在第一基板搭載回收位置與照射區域(R)之間的移動以及第二工作臺(22)在第二基板搭載回收位置與照射區域(R)之間的移動,使其以快的速度即設定搬運速度進行移動。

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本文標題:光取向裝置以及光取向方法.pdf
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