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一種微動臺機械參數誤差辨識方法.pdf

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一種 微動 機械 參數 誤差 辨識 方法
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摘要
申請專利號:

CN201510474811.X

申請日:

2015.08.05

公開號:

CN105068383A

公開日:

2015.11.18

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||著錄事項變更IPC(主分類):G03F 7/20變更事項:發明人變更前:陳興林 趙為志 董岳 劉楊 宋法質 王一光變更后:劉楊 宋法質 董岳|||實質審查的生效IPC(主分類):G03F 7/20申請日:20150805|||公開
IPC分類號: G03F7/20; G06F19/00(2011.01)I 主分類號: G03F7/20
申請人: 哈爾濱工業大學
發明人: 陳興林; 趙為志; 董岳; 劉楊; 宋法質; 王一光
地址: 150000黑龍江省哈爾濱市南崗區西大直街92號
優先權:
專利代理機構: 哈爾濱龍科專利代理有限公司23206 代理人: 高媛
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201510474811.X

授權公告號:

|||||||||

法律狀態公告日:

2017.04.05|||2017.03.22|||2015.12.16|||2015.11.18

法律狀態類型:

授權|||著錄事項變更|||實質審查的生效|||公開

摘要

一種微動臺機械參數誤差辨識方法,屬于超精密制造領域。為了解決傳統間接測量方法受固定參數和固定輸入輸出維數的限制的問題。本發明通過對微動臺的建模,描述方程的建立,通過方程和近似解得一部分機械參數誤差,最后引入緊湊式教學優化算法得到剩余其他的參數誤差。使參數的測量不受測量的參數和需求參數的維數所限制,不受傳統方法解算方程時參數矩陣不能為奇異矩陣的限制,誤差參數的個數和需要測量的參數的個數不受限制,同時能滿足控制所需的高精度。本發明用于光刻機。

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本文標題:一種微動臺機械參數誤差辨識方法.pdf
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