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真空設備多載具同時多工處理工藝.pdf

關 鍵 詞:
真空設備 多載具 同時 處理 工藝
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摘要
申請專利號:

CN201410158181.0

申請日:

2014.04.18

公開號:

CN105018894A

公開日:

2015.11.04

當前法律狀態:

撤回

有效性:

無權

法律詳情: 發明專利申請公布后的視為撤回IPC(主分類):C23C 14/56申請公布日:20151104|||實質審查的生效IPC(主分類):C23C 14/56申請日:20140418|||公開
IPC分類號: C23C14/56; C23C16/54; C23F1/08 主分類號: C23C14/56
申請人: 友威科技股份有限公司
發明人: 林忠炫; 賴青華
地址: 中國臺灣桃園縣
優先權:
專利代理機構: 北京三友知識產權代理有限公司11127 代理人: 賈磊
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201410158181.0

授權公告號:

||||||

法律狀態公告日:

2018.07.10|||2015.12.02|||2015.11.04

法律狀態類型:

發明專利申請公布后的視為撤回|||實質審查的生效|||公開

摘要

本發明提供一種真空設備多載具同時多工處理工藝,其制備一具有表面處理腔的連續式真空工藝設備,并以至少兩素材依序進入表面處理腔內,較早進入該表面處理腔的素材恒比較晚進入該表面處理腔的素材更靠近該后段工藝腔,且各素材同時間在該表面處理腔內進行來回且個別的移動,最后各素材再依序離開連續式真空工藝設備,便可在素材上得到任意組合的薄膜結構,通過本發明各素材同時間可在該表面處理腔內進行來回且個別的移動,可根據不同的薄膜結構設計各素材在表面處理腔內的移動路徑,而得到任意組合的薄膜結構,故可利用較低造價的設備得到任意組合的薄膜結構,且同時間可有兩片以上的素材在表面處理腔內移動,可有效減少工時、提高產能。

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本文標題:真空設備多載具同時多工處理工藝.pdf
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