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真空設備多載具同時多工處理工藝.pdf

摘要
申請專利號:

CN201410158181.0

申請日:

2014.04.18

公開號:

CN105018894A

公開日:

2015.11.04

當前法律狀態:

撤回

有效性:

無權

法律詳情: 發明專利申請公布后的視為撤回IPC(主分類):C23C 14/56申請公布日:20151104|||實質審查的生效IPC(主分類):C23C 14/56申請日:20140418|||公開
IPC分類號: C23C14/56; C23C16/54; C23F1/08 主分類號: C23C14/56
申請人: 友威科技股份有限公司
發明人: 林忠炫; 賴青華
地址: 中國臺灣桃園縣
優先權:
專利代理機構: 北京三友知識產權代理有限公司11127 代理人: 賈磊
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201410158181.0

授權公告號:

||||||

法律狀態公告日:

2018.07.10|||2015.12.02|||2015.11.04

法律狀態類型:

發明專利申請公布后的視為撤回|||實質審查的生效|||公開

摘要

本發明提供一種真空設備多載具同時多工處理工藝,其制備一具有表面處理腔的連續式真空工藝設備,并以至少兩素材依序進入表面處理腔內,較早進入該表面處理腔的素材恒比較晚進入該表面處理腔的素材更靠近該后段工藝腔,且各素材同時間在該表面處理腔內進行來回且個別的移動,最后各素材再依序離開連續式真空工藝設備,便可在素材上得到任意組合的薄膜結構,通過本發明各素材同時間可在該表面處理腔內進行來回且個別的移動,可根據不同的薄膜結構設計各素材在表面處理腔內的移動路徑,而得到任意組合的薄膜結構,故可利用較低造價的設備得到任意組合的薄膜結構,且同時間可有兩片以上的素材在表面處理腔內移動,可有效減少工時、提高產能。

權利要求書

權利要求書
1.  一種真空設備多載具同時多工處理工藝,其特征在于,包括有:
制備兩片以上的素材;
制備一連續式真空工藝設備,該連續式真空工藝設備具有依序連接的一前段工藝腔、一表面處理腔以及一后段工藝腔,其中,該表面處理腔具有依序連接的一工藝前緩沖腔、一第一工藝腔、一第二工藝腔以及一工藝后緩沖腔;以及
移動素材,將各所述素材由該前段工藝腔處依序進入該連續式真空工藝設備內,并且較早進入該表面處理腔的素材恒比較晚進入該表面處理腔的素材更靠近該后段工藝腔,其中,各素材同時間在該表面處理腔內進行來回且分別的移動,其中,當各所述素材通過該第一工藝腔與該第二工藝腔時進行表面處理,最后各所述素材依序由該后段工藝腔處離開該連續式真空工藝設備。

2.  如權利要求1所述的真空設備多載具同時多工處理工藝,其特征在于,于所述制備兩片以上的素材的步驟中,總共置備兩片素材,且分別定義為第一素材與第二素材;
于所述制備一連續式真空工藝設備步驟中,在該表面處理腔的該第二工藝腔與該工藝后緩沖腔之間進一步置備一第三工藝腔,并且于該第一工藝腔與該第三工藝腔內進行相同的表面處理;
于所述移動素材的步驟中:
該第一素材于該前段工藝腔進入該表面處理腔,且移動于該表面處理腔內的順序依序為工藝前緩沖腔、工藝后緩沖腔、工藝后緩沖腔、工藝后緩沖腔、第一工藝腔、工藝后緩沖腔、第一工藝腔、第二工藝腔、工藝后緩沖腔、第二工藝腔以及工藝后緩沖腔,最后進入后段工藝腔,并且由后段工藝腔離開連續式真空工藝設備;以及
當第一素材第一次位于工藝后緩沖腔內時,第二素材位于前段工藝腔內,當第一素材第二次位于工藝后緩沖腔內,第二素材才進入表面處理腔內,并且第二素材于表面處理腔內的移動順序依序為工藝前緩沖腔、第三工藝腔、工藝前緩沖腔、第三工藝腔、工藝前緩沖腔、工藝前緩沖腔、第二工藝腔、工藝前緩沖腔、第二工藝腔,并且當第一素材進入后段工藝腔時,第二素材進入工藝后緩沖腔,當第一素材離開連續式真空工藝設備時,第二素材進入后段工藝腔,最后由后段工藝腔離開連續式真空工藝 設備。

3.  如權利要求1所述的真空設備多載具同時多工處理工藝,其特征在于,于所述制備兩片以上的素材的步驟中,總共置備兩片素材,且分別定義為第一素材與第二素材;
于所述制備一連續式真空工藝設備步驟中,在表面處理腔的第二工藝腔與工藝后緩沖腔之間進一步置備一第三工藝腔,并且于第一工藝腔與第三工藝腔內進行相同的表面處理;
于所述移動素材的步驟中:
第一素材于前段工藝腔進入表面處理腔,且移動于表面處理腔內的順序依序為工藝前緩沖腔、第二工藝腔、工藝后緩沖腔、第三工藝腔、工藝后緩沖腔、第二工藝腔、工藝后緩沖腔,最后進入后段工藝腔,并且由后段工藝腔離開連續式真空工藝設備;以及
當第一素材第一次位于第二工藝腔內時,第二素材位于前段工藝腔內,當第一素材第一次位于工藝后緩沖腔內,第二素材才進入表面處理腔內,并且第二素材于表面處理腔內的移動順序依序為第二工藝腔、工藝前緩沖腔、第一工藝腔、工藝前緩沖腔、第二工藝腔,并且當第一素材進入后段工藝腔時,第二素材進入工藝后緩沖腔,當第一素材離開連續式真空工藝設備時,第二素材進入后段工藝腔,最后由后段工藝腔離開連續式真空工藝設備。

4.  如權利要求1所述的真空設備多載具同時多工處理工藝,其特征在于,于所述制備兩片以上的素材的步驟中,總共置備兩片素材,且分別定義為第一素材與第二素材;
于所述制備一連續式真空工藝設備步驟中,在表面處理腔的第二工藝腔與工藝后緩沖腔之間進一步置備一第三工藝腔,并且于第一工藝腔與第三工藝腔內進行相同的表面處理;
于所述移動素材的步驟中:
第一素材于前段工藝腔進入表面處理腔,且移動于表面處理腔內的順序依序為工藝前緩沖腔、第一工藝腔、工藝后緩沖腔、第二工藝腔、工藝后緩沖腔、第三工藝腔、工藝后緩沖腔,最后進入后段工藝腔,并且由后段工藝腔離開連續式真空工藝設備;以及
當第一素材第一次位于第一工藝腔內時,第二素材位于前段工藝腔內,當第一素材第一次位于工藝后緩沖腔內,第二素材才進入表面處理腔內,并且第二素材于表面處理腔內的移動順序依序為第一工藝腔、工藝前緩沖腔、第二工藝腔、工藝前緩沖腔、第一工藝腔,并且當第一素材進入后段工藝腔時,第二素材進入工藝后緩沖腔,當第一素材離開連續式真空工藝設備時,第二素材進入后段工藝腔,最后由后段工藝腔離開連續式真空工藝設備。

說明書

說明書真空設備多載具同時多工處理工藝
技術領域
本發明涉及一種表面處理真空工藝,尤指一種真空設備多載具同時多工處理工藝。
背景技術
一般真空設備用于鍍膜、刻蝕、表面處理等加工,其應用的領域有半導體、光電、電機、電子、民生用品等產業,過程中都需經過多道工藝處理以便形成不同材質的膜層結構。為了達到高品質、高產能且低成本的操作目標,現有真空設備多為連續式真空設備。
現有的連續式真空工藝設備40的結構如圖7所示,包括依序連接的一前段工藝腔41、一工藝前緩沖腔42、一工藝腔43、一工藝后緩沖腔44以及一后段工藝腔45,素材由該前段工藝腔41處被送往該后段工藝腔45的方向,其中間經過該工藝腔43時進行表面處理的工藝,如:鍍膜、刻蝕等表面處理,而該工藝腔43又可根據不同的表面處理工藝程序而設計成多個相連接的工藝腔,操作過程中,該前段工藝腔41以及該后段工藝腔45可用于抽真空或是破真空,而該工藝前緩沖腔42至該工藝后緩沖腔44的部分僅能進行抽真空。
以該連續式真空工藝設備40進行單一素材的單工工藝請參閱圖7、圖8所示,該連續式真空工藝設備40設有兩個工藝腔43(分別為第一工藝腔43A與第二工藝腔43B),縱向方向顯示為時間方向,首先,第一素材A1位于該前段工藝腔41處,并隨著時間的演進而往該后段工藝腔45的方向行進,當第一素材A1完成工藝而離開該后段工藝腔45后,第二素材A2才由該前段工藝腔41處進入該工藝前緩沖腔42內,而第一素材A1未離開該后段工藝腔45之前,第二素材A2一直位于該前段工藝腔41等待,第三素材A3的行程同第一素材A1與第二素材A2,完成圖8所示的工藝的成品為三層的層狀結構:底層為素材,其上分別為于第一工藝腔43A與第二工藝腔43B處完成的薄膜,因此,通過素材進行單向移動的方式,便可得到依序堆疊 的薄膜,具有工藝單一、產能快等優點,然而,由于需要增加工藝腔43的數量才可提升產能,故卻有增加設備購置成本占地空間等缺點。
另外,以該連續式真空工藝設備40進行單一素材的多工工藝請參閱圖9所示,該連續式真空工藝設備40設有兩個工藝腔43(分別為第一工藝腔43A與第二工藝腔43B),縱向方向顯示為時間方向,首先,第一素材A1位于該前段工藝腔41處,并隨著時間的演進往該工藝后緩沖腔44行進、再返回該工藝前緩沖腔42、再前往該工藝后緩沖腔44,最后由該后段工藝腔45離開該連續式真空工藝設備40,在第一素材A1尚未離開該連續式真空工藝設備50之前,第二素材A2一直在該前段工藝腔41內等待,而第二素材A2與第三素材A3的行程同第一素材A1,將于該第一工藝腔處43A與該第二工藝腔43B處完成的薄膜定義為第一薄膜與第二薄膜,則完成圖9所示的工藝的成品為七層的層狀結構:底層為素材,其上依序為第一薄膜、第二薄膜、第二薄膜、第一薄膜、第一薄膜以及第二薄膜,因此,通過素材進行來回的移動,便可得到任意組合的薄膜結構,對于任意組合的薄膜結構而言具有設備造價較低的優點,然而,卻需要較長的工時,而容易導致產能變慢,因此,所述的單一素材的單工工藝與多工工藝的缺點,實有改善的必要。
發明內容
本發明的主要目的在于提供一種真空設備多載具同時多工處理工藝,以解決現有技術中用于連續式真空工藝設備的工藝的缺點。
本發明的技術方案是提供一種真空設備多載具同時多工處理工藝,包括有:
制備兩片以上的素材;
制備一連續式真空工藝設備:該連續式真空工藝設備具有依序連接的一前段工藝腔、一表面處理腔以及一后段工藝腔,其中,該表面處理腔具有依序連接的一工藝前緩沖腔、一第一工藝腔、一第二工藝腔以及一工藝后緩沖腔;以及
移動素材:將各素材由該前段工藝腔處依序進入該連續式真空工藝設備內,并且較早進入該表面處理腔的素材恒比較晚進入該表面處理腔的素材更靠近該后段工藝腔,其中,各素材同時間在該表面處理腔內進行來回且個別的移動,其中,當各素材通過該第一工藝腔與該第二工藝腔時進行表面處理,最后各素材依序由該后段工藝腔處離開該連續式真空工藝設備。
所述的真空設備多載具同時多工處理工藝,其中
于制備兩片以上的素材的步驟中,總共置備兩片素材,且分別定義為第一素材與第二素材;
于制備一連續式真空工藝設備步驟中,在表面處理腔的第二工藝腔與工藝后緩沖腔之間進一步置備一第三工藝腔,并且于第一工藝腔與第三工藝腔內進行的相同的表面處理;
于移動素材的步驟中:
第一素材于前段工藝腔進入表面處理腔,且移動于表面處理腔內的順序依序為工藝前緩沖腔、工藝后緩沖腔、工藝后緩沖腔、工藝后緩沖腔、第一工藝腔、工藝后緩沖腔、第一工藝腔、第二工藝腔、工藝后緩沖腔、第二工藝腔以及工藝后緩沖腔,最后進入后段工藝腔,并且由后段工藝腔離開連續式真空工藝設備;以及
當第一素材第一次位于工藝后緩沖腔內時,第二素材位于前段工藝腔內,當第一素材第二次位于工藝后緩沖腔內,第二素材才進入表面處理腔內,并且第二素材于表面處理腔內的移動順序依序為工藝前緩沖腔、第三工藝腔、工藝前緩沖腔、第三工藝腔、工藝前緩沖腔、工藝前緩沖腔、第二工藝腔、工藝前緩沖腔、第二工藝腔,并且當第一素材進入后段工藝腔時,第二素材進入工藝后緩沖腔,當第一素材離開連續式真空工藝設備時,第二素材進入后段工藝腔,最后由后段工藝腔離開連續式真空工藝設備。
所述的真空設備多載具同時多工處理工藝,其中
于制備兩片以上的素材的步驟中,總共置備兩片素材,且分別定義為第一素材與第二素材;
于制備一連續式真空工藝設備步驟中,在表面處理腔的第二工藝腔與工藝后緩沖腔之間進一步置備一第三工藝腔,并且于第一工藝腔與第三工藝腔內進行的為相同的表面處理;
于移動素材的步驟中:
第一素材于前段工藝腔進入表面處理腔,且移動于表面處理腔內的順序依序為工藝前緩沖腔、第二工藝腔、工藝后緩沖腔、第三工藝腔、工藝后緩沖腔、第二工藝腔、工藝后緩沖腔,最后進入后段工藝腔,并且由后段工藝腔離開連續式真空工藝設備;以及
當第一素材第一次位于第二工藝腔內時,第二素材位于前段工藝腔內,當第一素材第一次位于工藝后緩沖腔內,第二素材才進入表面處理腔內,并且第二素材于表面處理腔內的移動順序依序為第二工藝腔、工藝前緩沖腔、第一工藝腔、工藝前緩沖腔、第二工藝腔,并且當第一素材進入后段工藝腔時,第二素材進入工藝后緩沖腔,當第一素材離開連續式真空工藝設備時,第二素材進入后段工藝腔,最后由后段工藝腔離開連續式真空工藝設備。
本發明一實施例中,所述的真空設備多載具同時多工處理工藝,其中
于制備兩片以上的素材的步驟中,總共置備兩片素材,且分別定義為第一素材與第二素材;
于制備一連續式真空工藝設備步驟中,在表面處理腔的第二工藝腔與工藝后緩沖腔之間進一步置備一第三工藝腔,并且于第一工藝腔與第三工藝腔內進行的為相同的表面處理;
于移動素材的步驟中:
第一素材于前段工藝腔進入表面處理腔,且移動于表面處理腔內的順序依序為工藝前緩沖腔、第一工藝腔、工藝后緩沖腔、第二工藝腔、工藝后緩沖腔、第三工藝腔、工藝后緩沖腔,最后進入后段工藝腔,并且由后段工藝腔離開連續式真空工藝設備;以及
當第一素材第一次位于第一工藝腔內時,第二素材位于前段工藝腔內,當第一素材第一次位于工藝后緩沖腔內,第二素材才進入表面處理腔內,并且第二素材于表面處理腔內的移動順序依序為第一工藝腔、工藝前緩沖腔、第二工藝腔、工藝前緩沖腔、第一工藝腔,并且當第一素材進入后段工藝腔時,第二素材進入工藝后緩沖腔,當第一素材離開連續式真空工藝設備時,第二素材進入后段工藝腔,最后由后段工藝腔離開連續式真空工藝設備。
通過上述的技術手段,本發明可達到的功效增進有:各素材同時間可在該表面處理腔內進行來回且個別的移動,可根據不同的薄膜結構設計各素材在表面處理腔內的移動路徑,而得到任意組合的薄膜結構,故可利用較低造價的設備得到任意組合的薄膜結構,且同時間可有兩片以上的素材在表面處理腔內移動,可有效減少工時、提高產能。
附圖說明
圖1為本發明第一較佳實施例的工藝流程示意圖。
圖2為本發明第一較佳實施例工藝的成品示意圖。
圖3為本發明第二較佳實施例的工藝流程示意圖。
圖4為本發明第二較佳實施例工藝的成品示意圖。
圖5為本發明第三較佳實施例的工藝流程示意圖。
圖6為本發明第三較佳實施例工藝的成品示意圖。
圖7為現有技術中連續式真空工藝設備的結構示意圖。
圖8為現有技術中用于連續式真空工藝設備的單素材單工工藝流程示意圖。
圖9為現有技術中用于連續式真空工藝設備的單素材多工工藝流程示意圖。
主要元件符號說明
10 連續式真空工藝設備                    11 前段工藝腔
12 表面處理腔                            13 后段工藝腔
121 工藝前緩沖腔                         122A 第一工藝腔
122B 第二工藝腔                          122C 第三工藝腔
123 工藝后緩沖腔                         T1、T1’、T1” 第一時間
T2、T2’、T2” 第二時間                  T3、T3’、T3” 第三時間
T4、T4’、T4” 第四時間                  T5、T5’、T5” 第五時間
T6、T6’、T6” 第六時間                  T7、T7’、T7” 第七時間
T8、T8’、T8” 第八時間                  T9、T9’、T9” 第九時間
T10、T10’、T10” 第十時間               T11、T11’、T11” 第十一時間
T12 第十二時間                           T13 第十三時間
T14 第十四時間                           T15 第十五時間
S1、S1’、S1” 第一素材                  S2、S2’、S2” 第二素材
S3、S3’、S3” 第三素材                  S、S’、S” 素材
F1、F1’、F1” 第一薄膜                  F2、F2’、F2” 第二薄膜
40 連續式真空工藝設備                    41 前段工藝腔
42 工藝前緩沖腔                          43 工藝腔
43A 第一工藝腔                           43B 第二工藝腔
44 工藝后緩沖腔                          45 后段工藝腔
A1 第一素材                              A2 第二素材
A3 第三素材
具體實施方式
為能詳細了解本發明的技術特征及實用功效,并可依照說明書的內容來實現,茲進一步以如圖式所示的較佳實施例,詳細說明如后:
請參閱圖1所示,本發明提供的真空設備多載具同時多工處理工藝應用于一連續式真空工藝設備10,該連續式真空工藝設備10包括依序連接的一前段工藝腔11、一表面處理腔12以及一后段工藝腔13,其中,該表面處理腔12包括依序連接的一工藝前緩沖腔121、一第一工藝腔122A、一第二工藝腔122B、一第三工藝腔122C以及一工藝后緩沖腔123,于該表面處理腔12內為進行表面處理加工處,或是,表面處理腔12可為多節串接,以符合工藝的需要,另外,本發明不局限該表面處理腔12內各工藝腔的數量,只要至少設有兩個工藝腔即可實施。
在操作過程中,主要是該表面處理腔12工藝流程與現有用于連續式真空工藝設備的工藝不同。該表面處理腔12內僅能進行抽真空,而該前段工藝腔11與該后段工藝腔13可進行抽真空或是破真空。另外,該第一工藝腔122A與該第三工藝腔122C內進行的工藝為相同,亦即通過該第一工藝腔122A與該第三工藝腔122C可得到結構相同的薄膜,而為了區別則分別以第一與第三表示。另外,素材由該前段工藝腔11進入該連續式真空工藝設備10,由該后段工藝腔13離開該連續式真空工藝設備10。
該真空設備多載具同時多工處理工藝的第一較佳實施例,以下依照時間行進方向進行下述說明:
1、第一時間T1:第一素材S1進入該前段工藝腔11內;
2、第二時間T2:第一素材S1進入該工藝前緩沖腔121內進行前處理;
3、第三時間T3:第二素材S2進入該前段工藝腔11內,同時第一素材S1進入該工藝后緩沖腔123內等待;
4、第四時間T4:第二素材S2進入該工藝前緩沖腔121內進行前處理,同時第一素材S1仍在該工藝后緩沖腔123內等待;
5、第五時間T5:第二素材S2進入該第三工藝腔122C內進行表面處理,同時第一素材S1仍在該工藝后緩沖腔123內等待;
6、第六時間T6:第二素材S2進入該工藝前緩沖腔121內進行后處理,同時第一素材S1進入第一工藝腔122A內進行表面處理;
7、第七時間T7:第一素材S1進入該工藝后緩沖腔123進行后處理,同時第二素材S2進入第三工藝腔122C內進行表面處理;
8、第八時間T8:第二素材S2進入該工藝前緩沖腔121進行后處理,同時第一素材S1進入該第一工藝腔122A內進行表面處理;
9、第九時間T9:第二素材S2在該工藝前緩沖腔121內等待,第一素材S1進入該第二工藝腔122B內進行表面處理;
10、第十時間T10:第一素材S1進入該工藝后緩沖腔123進行后處理,第二素材S2進入該第二工藝腔122B內進行表面處理;
11、第十一時間T11:第二素材S2進入該工藝前緩沖腔121進行后處理,第一素材S1進入該第二工藝腔122B內進行表面處理;
12、第十二時間T12:第一素材S1進入該工藝后緩沖腔123進行后處理,第二素材S2進入該第二工藝腔122B內進行表面處理;
13、第十三時間T13:第一素材S1進入該后段工藝腔13,第二素材S2進入該工藝后緩沖腔123進行后處理;
14、第十四時間T14:第一素材S1離開該連續式真空工藝設備10,第二素材S2進入該后段工藝腔13;
15、第十五時間T15:第二素材S2離開該連續式真空工藝設備10,第三素材S3進入該前段工藝腔11。
加工完成的成品如圖2所示,于一素材S上依序堆疊有一第一薄膜F1、一第一薄膜F1、一第二薄膜F2以及一第二薄膜F2。而第三素材S3、第四素材…等后續進入該連續式真空工藝設備10的素材,由于工藝流程同于第一素材S1與第二素材S2,故在此不再贅述。
該真空設備多載具同時多工處理工藝的第二較佳實施例請參閱圖3所示,以下依照時間行進方向進行下述說明:
1、第一時間T1’:第一素材S1’進入該前段工藝腔內;
2、第二時間T2’:第一素材S1’進入該工藝前緩沖腔121內進行前處理;
3、第三時間T3’:第一素材S1’進入該第二工藝腔122B內進行表面處理,同時第二素材S2’進入該前段工藝腔11內;
4、第四時間T4’:第一素材S1’進入該工藝后緩沖腔123內進行后處理,同時第二素材S2’進入該第二工藝腔122B內進行表面處理;
5、第五時間T5’:第二素材S2’進入該工藝前緩沖腔121內進行后處理,同時該第一素材S1’進入該第三工藝腔122C內進行表面處理;
6、第六時間T6’:第二素材S2’進入該第一工藝腔122A內進行表面處理,同時第一素材S1’進入該工藝后緩沖腔123內進行后處理;
7、第七時間T7’:第二素材S2’進入該工藝前緩沖腔121內進行后處理,同時第一素材S1’進入該第二工藝腔122B內進行表面處理;
8、第八時間T8’:第一素材S1’進入該工藝后緩沖腔123內進行后處理,同時第二素材S2’進入該第二工藝腔122B內進行表面處理;
9、第九時間T9’:第二素材S2’進入該工藝后緩沖腔123內進行后處理,同時第一素材S1’進入該后段工藝腔13;
10、第十時間T10’:第一素材S1’離開該連續式真空工藝設備10,同時第二素材S2’進入該后段工藝腔13;
11、第十一時間T11’:第二素材S2’離開該連續式真空工藝設備10,同時第三素材S3’進入該前段工藝腔11。
加工完成的成品如圖4所示,于一素材S’上依序堆疊有第二薄膜F2’、第一薄膜F1’以及第二薄膜F2’。而第三素材S3’、第四素材…等后續進入該連續式真空工藝設備的素材,由于工藝流程同于第一素材S1’與第二素材S2’,故在此不再贅述。
該真空設備多載具同時多工處理工藝的第三較佳實施例請參閱圖5所示,以下依照時間行進方向進行下述說明:
1、第一時間T1”:第一素材S1”進入該前段工藝腔11內;
2、第二時間T2”:第一素材S1”進入該工藝前緩沖腔121內進行前處理;
3、第三時間T3”:第一素材S1”進入該第一工藝腔122A內進行表面處理,同時第二素材S2”進入該前段工藝腔11內;
4、第四時間T4”:第一素材S1”進入該工藝后緩沖腔123內進行后處理,同時第 二素材S2”進入該第一工藝腔122A內進行表面處理;
5、第五時間T5”:第二素材S2”進入該工藝前緩沖腔121內進行后處理,同時該第一素材S1”進入該第二工藝腔122B內進行表面處理;
6、第六時間T6”:第二素材S2”進入該第二工藝腔122B內進行表面處理,同時第一素材S1”進入該工藝后緩沖腔123內進行后處理;
7、第七時間T7”:第二素材S2”進入該工藝前緩沖腔121內進行后處理,同時第一素材S1”進入該第三工藝腔122C內進行表面處理;
8、第八時間T8”:第一素材S1”進入該工藝后緩沖腔123內進行后處理,同時第二素材S2”進入該第一工藝腔122A內進行表面處理;
9、第九時間T9”:第二素材S2”進入該工藝后緩沖腔123內進行后處理,同時第一素材S1”進入該后段工藝腔13;
10、第十時間T10”:第一素材S1”離開該連續式真空工藝設備,同時第二素材S2”進入該后段工藝腔13;
11、第十一時間T11”:第二素材S2”離開該連續式真空工藝設備,同時第三素材S3”進入該前段工藝腔11。
加工完成的成品如圖6所示,于一素材S”上依序堆疊有一第一薄膜F1”、一第二薄膜F2”以及一第一薄膜F1”。而第三素材S3”、第四素材等后續進入該連續式真空工藝設備的素材,由于工藝流程同于第一素材S1”與第二素材S2”,故在此不再贅述。
本發明提出的工藝中,同時至少有兩片以上的素材S可于該表面處理腔12內進行表面處理,較早進入該表面處理腔12的素材S始終相對較晚進入該表面處理腔12的素材S更靠近該后段工藝腔13(亦即較早進入該處面處理腔12的素材S與較晚進入該表面處理腔12的素材S無法交換彼此的前后關系),并且依照工藝需要在該表面處理腔12內進行來回且個別的移動,來回的次數則根據不同工藝需求而設定,因此,兩片以上的素材S可位于該表面處理腔12內進行各自的工藝,針對任意組合的薄膜結構,只要設計素材S通過指定的腔體便可達到。

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真空設備 多載具 同時 處理 工藝
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