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一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環再生系統.pdf

關 鍵 詞:
一種 具有 尾氣 處理 功能 酸性 蝕刻 廢液 循環 再生 系統
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摘要
申請專利號:

CN201510569176.3

申請日:

2015.09.09

公開號:

CN105177581A

公開日:

2015.12.23

當前法律狀態:

駁回

有效性:

無權

法律詳情: 發明專利申請公布后的駁回IPC(主分類):C23F 1/46申請公布日:20151223|||實質審查的生效IPC(主分類):C23F 1/46申請日:20150909|||公開
IPC分類號: C23F1/46 主分類號: C23F1/46
申請人: 成都虹華環保科技股份有限公司
發明人: 韋建敏; 吳梅; 趙興文; 張曉蓓; 張小波
地址: 610000 四川省成都市高新區西芯大道4號
優先權:
專利代理機構: 成都金英專利代理事務所(普通合伙) 51218 代理人: 袁英
PDF完整版下載: PDF下載
法律狀態
申請(專利)號:

CN201510569176.3

授權公告號:

||||||

法律狀態公告日:

2018.12.21|||2016.01.20|||2015.12.23

法律狀態類型:

發明專利申請公布后的駁回|||實質審查的生效|||公開

摘要

本發明公開了一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環再生系統,包括蝕刻液處理系統和氯氣回收系統,蝕刻液處理系統包括蝕刻生產線(1)、母液儲存罐(2)、電解槽和溶解吸收系統(6),電解槽包括陰極槽(3)和陽極槽(5),母液儲存罐(2)、陰極槽(3)、陽極槽(5)、溶解吸收系統(6)依次連通,蝕刻生產線(1)分別與母液儲存罐(2)和溶解吸收系統(6)連通,氯氣回收系統包括洗氣系統(7)和尾氣處理系統(8),陽極槽(5)、洗氣系統(7)和尾氣處理系統(8)依次連通。本發明的有益效果是:該系統用于處理酸性蝕刻廢液,具有可離線生產、節約成本、節約資源、能夠防止環境污染等優點。

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本文標題:一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環再生系統.pdf
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