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一種制備光掩模的裝置及方法.pdf

摘要
申請專利號:

CN201410049226.0

申請日:

2014.02.12

公開號:

CN104834178A

公開日:

2015.08.12

當前法律狀態:

實審

有效性:

審中

法律詳情: 實質審查的生效IPC(主分類):G03F 1/26申請日:20140212|||公開
IPC分類號: G03F1/26(2012.01)I 主分類號: G03F1/26
申請人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
發明人: 黃金
地址: 201203上海市浦東新區張江路18號
優先權:
專利代理機構: 上海光華專利事務所31219 代理人: 李儀萍
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201410049226.0

授權公告號:

|||

法律狀態公告日:

2015.09.09|||2015.08.12

法律狀態類型:

實質審查的生效|||公開

摘要

本發明提供一種制備光掩模的裝置及方法,所述裝置包括光刻膠烘烤裝置,所述光刻膠烘烤裝置至少包括:烘烤箱、設置于所述烘烤箱底部的發熱底座、穿透所述發熱底座的至少三個升降部件以及控制所述升降部件上下運動的控制裝置;所述發熱底座使所述烘烤箱內部溫度自下而上依次降低;所述升降部件頂部放置旋涂有光刻膠的光掩模。本發明提供的光刻膠烘烤裝置,通過升降部件的上下運動帶動光掩模在不同的溫度下進行烘烤,使光刻膠的粘附性更強,防止濕法刻蝕主圖區的Cr層時由于光刻膠黏附性不好脫落導致外圍區Cr層側邊被刻蝕過多。由于一臺光刻膠烘烤裝置具有不同的烘烤溫度,因此僅需要一臺光刻膠烘烤裝置就可以滿足光刻膠多溫度烘烤的要求,使光刻膠涂布機的尺寸變小,成本也降低。

權利要求書

權利要求書
1.  一種制備光掩模的裝置,其特征在于,所述制備光掩模的裝置包括光刻膠烘烤裝置,所述光刻膠烘烤裝置至少包括:烘烤箱、設置于所述烘烤箱底部的發熱底座、穿透所述發熱底座的至少三個升降部件以及控制所述升降部件上下運動的控制裝置;所述發熱底座使所述烘烤箱內部溫度自下而上依次降低;所述升降部件頂部放置旋涂有光刻膠的光掩模。

2.  根據權利要求1所述的制備光掩模的裝置,其特征在于:所述烘烤箱至少包括有頂蓋和側壁;所述側壁上設置有散熱孔。

3.  根據權利要求1所述的制備光掩模的裝置,其特征在于:所述光刻膠烘烤裝置還包括設置于所述發熱底座上的溫度傳感器。

4.  根據權利要求1所述的制備光掩模的裝置,其特征在于:所述光刻膠烘烤裝置還包括用于測量烘烤箱內部不同高度處光掩模溫度的測溫儀。

5.  一種采用權利要求1至4任一項所述光刻膠烘烤裝置制備光掩模的方法,其特征在于,所述制備光掩模的方法至少包括步驟:
1)提供具有主圖區和外圍區的透明基板,在所述透明基板上依次形成相移層及Cr層,刻蝕所述Cr層及相移層形成暴露所述透明基板的溝槽;
2)在所述Cr層上及溝槽中旋涂光刻膠,并將所述透明基板置于光刻膠烘烤裝置中,利用烘烤箱中不同高度具有不同的溫度,調整烘烤箱中的升降部件以對所述透明基板進行至少三次不同溫度的烘烤,從而使所述光刻膠有力地粘附于所述Cr層和透明基板上;
3)利用曝光和顯影技術,去除主圖區Cr層上的光刻膠,保留外圍區Cr層上的光刻膠;
4)采用濕法刻蝕技術去除所述主圖區的Cr層。

6.  根據權利要求5所述的制備光掩模的方法,其特征在于:所述相移層為MoSi。

7.  根據權利要求5所述的制備光掩模的方法,其特征在于:所述透明基板為玻璃基板。

8.  根據權利要求5所述的制備光掩模的方法,其特征在于:對所述透明基板進行三次不同溫度的烘烤,第一次烘烤溫度為90~99℃,烘烤時間為200~500秒;第二次烘烤溫度為100~109℃,烘烤時間為300~650秒;第三次烘烤溫度為110~125℃,烘烤時間為300~500秒。

9.  根據權利要求5所述的制備光掩模的方法,其特征在于:所述步驟4)之后還包括去除所述外圍區光刻膠的步驟。

關 鍵 詞:
一種 制備 光掩模 裝置 方法
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