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檢查系統、檢查方法及檢查裝置.pdf

關 鍵 詞:
檢查 系統 方法 裝置
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摘要
申請專利號:

CN201210060258.1

申請日:

2012.03.08

公開號:

CN102693924B

公開日:

2015.01.28

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):H01L 21/66申請日:20120308|||公開
IPC分類號: H01L21/66 主分類號: H01L21/66
申請人: 株式會社東芝
發明人: 小林紗由美; 浪岡保男; 麻柄隆; 山田涉
地址: 日本東京都
優先權: 2011.03.23 JP 064253/2011
專利代理機構: 永新專利商標代理有限公司 72002 代理人: 徐冰冰;黃劍鋒
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201210060258.1

授權公告號:

102693924B||||||

法律狀態公告日:

2015.01.28|||2012.11.21|||2012.09.26

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

根據一個實施形態,本發明提供具備抽樣檢查部、檢查插補部、等級劃分部以及信息制作部的檢查系統。抽樣檢查部收集通過抽樣檢查獲得的元件的特性值。檢查插補部使用插補法求出沒進行過上述抽樣檢查的未檢查的元件的特性值。等級劃分部根據上述收集到的通過抽樣檢查獲得的元件的特性值和通過上述檢查插補部求出的元件的特性值按等級制作與元件組有關的信息。信息制作部根據與上述等級和上述元件組有關的信息制作所希望的信息。

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