鬼佬大哥大
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曝光 裝置
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摘要
申請專利號:

CN201080058060.9

申請日:

2010.12.09

公開號:

CN102668025B

公開日:

2015.01.28

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):H01L 21/027申請日:20101209|||公開
IPC分類號: H01L21/027; G03F7/20 主分類號: H01L21/027
申請人: 株式會社 V 技術
發明人: 水村通伸
地址: 日本國神奈川縣
優先權: 2009.12.22 JP 2009-290649
專利代理機構: 中科專利商標代理有限責任公司 11021 代理人: 張遠
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201080058060.9

授權公告號:

102668025B||||||

法律狀態公告日:

2015.01.28|||2012.11.14|||2012.09.12

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

本發明的曝光裝置,具備:光束點生成單元(9),其接受光源光(L1)并以規定間隔相互錯開地至少排列成2列而生成多個光束點;光掃描單元(10),其使上述多個光束點沿它們的排列方向在各組的規定范圍內進行往返掃描;圖案產生器(11),其被配置成使上述多個光束點的往返掃描的中心各自與中心軸一致,且通過對在與上述中心軸平行的對置面設置了一對電極的方柱狀的由電光晶體材料構成的多個開關元件進行接通/斷開驅動,從而對上述光源光(L1)進行光調制來生成規定的明暗圖案;和投影透鏡(12),其將上述明暗圖案投影在濾色器基板(5)上,使上述各開關元件在上述光束點的掃描方向的寬度比上述光束點在相同方向的寬度大。

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