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曝光 裝置
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摘要
申請專利號:

CN201080058060.9

申請日:

2010.12.09

公開號:

CN102668025B

公開日:

2015.01.28

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):H01L 21/027申請日:20101209|||公開
IPC分類號: H01L21/027; G03F7/20 主分類號: H01L21/027
申請人: 株式會社 V 技術
發明人: 水村通伸
地址: 日本國神奈川縣
優先權: 2009.12.22 JP 2009-290649
專利代理機構: 中科專利商標代理有限責任公司 11021 代理人: 張遠
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201080058060.9

授權公告號:

102668025B||||||

法律狀態公告日:

2015.01.28|||2012.11.14|||2012.09.12

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

本發明的曝光裝置,具備:光束點生成單元(9),其接受光源光(L1)并以規定間隔相互錯開地至少排列成2列而生成多個光束點;光掃描單元(10),其使上述多個光束點沿它們的排列方向在各組的規定范圍內進行往返掃描;圖案產生器(11),其被配置成使上述多個光束點的往返掃描的中心各自與中心軸一致,且通過對在與上述中心軸平行的對置面設置了一對電極的方柱狀的由電光晶體材料構成的多個開關元件進行接通/斷開驅動,從而對上述光源光(L1)進行光調制來生成規定的明暗圖案;和投影透鏡(12),其將上述明暗圖案投影在濾色器基板(5)上,使上述各開關元件在上述光束點的掃描方向的寬度比上述光束點在相同方向的寬度大。

權利要求書

1.一種曝光裝置,其特征在于,具備:
光束點生成單元,其接受光源光并以規定間隔相互錯開地至少排列成
2列,從而生成多個光束點;
光掃描單元,其使上述多個光束點沿它們的排列方向在各自的規定范
圍內進行往返掃描;
圖案產生器,其被配置為使上述多個光束點的往返掃描的中心各自與
中心軸一致,且通過對多個開關元件進行接通/斷開驅動,從而對上述光
源光進行光調制來生成規定的明暗圖案,其中,上述多個開關元件在與上
述中心軸平行的對置面設置了一對電極,形狀為方柱狀,由電光晶體材料
構成;和
投影透鏡,其將上述明暗圖案投影在被曝光體上,
使上述各開關元件在上述光束點的掃描方向的寬度比上述光束點在
相同方向的寬度大。
2.根據權利要求1所述的曝光裝置,其特征在于,
上述光束點生成單元是在平面內排列多個聚光透鏡而成的微透鏡陣
列。
3.根據權利要求1所述的曝光裝置,其特征在于,
上述光束點生成單元是在平面內排列多個開口而成的光掩模。
4.根據權利要求1所述的曝光裝置,其特征在于,
上述光掃描單元,在方形塊狀的電光晶體材料的對置側面使規定寬度
的一對帶狀電極按照其長邊中心軸與上述側面的長寬中的任一方的中心
軸呈規定角度的方式形成傾斜,并使光在該一對電極之間通過。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的曝光裝置,其特征在于,
上述被曝光體被設置為沿著與上述光束點的掃描方向大致正交的方
向連續地移動。

說明書

曝光裝置

技術領域

本發明涉及對由電光晶體材料構成的開關元件進行驅動來生成規定
的明暗圖案,并將該明暗圖案曝光在被曝光體上的曝光裝置,詳細來說,
涉及對曝光位置進行模擬控制來提高曝光圖案的定位精度的曝光裝置。

背景技術

現有技術的這種曝光裝置,通過將由電光晶體材料構成的多個開關元
件在二維平面內進行排列而成的圖案產生器,來生成規定的圖案,并對正
在向一個方向輸送的被曝光體曝光該圖案,上述圖案產生器,在被曝光體
的輸送方向以規定間隔配置多列開關元件列,并且將相鄰的開關元件列彼
此在與被曝光體的輸送方向正交的方向偏離規定量來進行配置,其中該開
關元件列是將多個開關元件在與被曝光體的輸送方向正交的方向上以規
定間距配置成一條直線狀而成的(例如參照專利文獻1)。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1:JP特開2007-310251號公報

發明概要

發明要解決的課題

但是,在這樣的現有技術的曝光裝置中,由于曝光位置的分辨率由開
關元件的端面大小(像素大小)以及開關元件列向與被曝光體的輸送方向
正交的方向的偏離量而決定,因此為了提高曝光位置的分辨率,必須使像
素大小變小,并且使開關元件列向與被曝光體的輸送方向正交的方向的偏
離量變小,存在圖案產生器的制造困難、部件成本提高之虞。

發明內容

因此,本發明的目的在于,提供一種應對這樣的問題,對曝光位置進
行模擬控制,以提高曝光圖案的定位精度的曝光裝置。

用于解決課題的技術手段

為了實現上述目的,本發明的曝光裝置,具備:光束點生成單元,其
接受光源光并以規定間隔相互錯開地至少排列成2列而生成多個光束點;
光掃描單元,其使上述多個光束點沿它們的排列方向在各自的規定范圍內
進行往返掃描;圖案產生器,其被配置為使上述多個光束點的往返掃描的
中心各自與中心軸一致,且通過多個開關元件進行接通/斷開驅動,從而對
上述光源光進行光調制來生成規定的明暗圖案,其中,上述多個開關元件
在與上述中心軸平行的對置面設置了一對電極,形狀為方柱狀,由電光晶
體材料構成;和投影透鏡,其將上述明暗圖案投影在被曝光體上,使上述
各開關元件在上述光束點的掃描方向的寬度比上述光束點在相同方向的
寬度大。

通過采用這樣的結構,通過光束點生成單元接受光源光,以規定間隔
相互錯開地至少排列成2列以生成多個光束點,通過光掃描單元使該多個
光束點在它們的排列方向上在各自的規定范圍內進行往返掃描,通過圖案
產生器配置為使上述多個光束點的往返掃描的中心各自與中心軸一致,通
過對在與該中心軸平行的對置面設置了一對電極的方柱狀的由電光晶體
材料構成的多個開關元件進行接通/斷開驅動,從而對光源光進行光調制來
生成規定的明暗圖案,通過投影透鏡將該明暗圖案投影在被曝光體上。這
種情況下,通過使各開關元件在光束點的掃描方向的寬度比光束點在相同
方向的寬度大,使光束點在開關元件上進行掃描,并對開關元件的驅動定
時進行控制,從而對被曝光體上的明暗圖案的位置進行模擬控制。

另外,上述光束點生成單元是將多個聚光透鏡在平面內排列而成的微
透鏡陣列。這樣,通過將多個聚光透鏡在平面內進行排列而成的微透鏡陣
列來生成多個光束點。

進而,上述光束點生成單元是在平面內排列多個開口而成的光掩模。
這樣,通過在平面內具有多個開口的光掩模便生成多個光束點。

進而,另外,上述光掃描單元在方形塊狀的電光晶體材料的對置側面
使規定寬度的一對帶狀電極按照其長邊中心軸與上述側面的長寬中的任
一方的中心軸呈規定角度的方式形成傾斜,并使光在該一對電極之間通
過。這樣,通過在方形塊狀的電光晶體材料的對置側面使規定寬度的一對
帶狀電極按照其長邊中心軸與上述側面中長寬的任一方的中心軸呈規定
角度的方式形成傾斜,并使光在該一對電極之間通過的光掃描單元,使多
個光束點分別在規定范圍內進行往返掃描。

并且,上述被曝光體被設置為沿著與上述光束點的掃描方向大致正交
的方向連續地移動。這樣,一邊在與光束點的掃描方向大致正交的方向對
被曝光體進行連續移動,一邊進行曝光。

發明效果

根據第一技術方案涉及的本發明,由于使開關元件在光束點的掃描方
向的寬度比光束點在相同方向的寬度更大,故而能夠使光束點在開關元件
上進行掃描。因而,通過對開關元件的驅動定時進行控制,從而能夠對通
過多個開關元件進行光調制并對在被曝光體上形成的明暗圖案的位置進
行模擬控制。這樣,即使是將多個開關元件至少排列成2列而成的簡單構
成的圖案產生器,也既能夠使曝光圖案的定位精度提高,又能夠降低裝置
的制造成本。

另外,根據第二技術方案涉及的發明,能夠對光源光進行聚光來生成
光束點,能夠使光源光的利用效率提高。因此,能夠使所使用的光源的功
率變小,能夠減輕光源的負擔。

進而,根據第三技術方案涉及的發明,能夠采用使用光刻技術形成的
光掩模來生成多個光束點。因此,能夠高精度地形成該多個光束點的形狀
以及位置,能夠進一步提高曝光圖案的定位精度。

進而,根據第四技術方案涉及的發明,能夠通過驅動電壓對光束點的
掃描進行控制。因此,如果預先取開關元件上的光束點的位置與驅動電壓
之間的相關,便能夠根據驅動電壓得知開關元件上的光束點的位置,能夠
由驅動電壓控制開關元件的驅動定時。

并且,根據第五技術方案涉及的發明,能夠一邊連續地移動被曝光體,
一邊進行曝光,能夠縮短曝光工序的單工序所需時間(tact?time)。

附圖說明

圖1是表示本發明的曝光裝置的實施方式的概要圖。

圖2是表示上述實施方式所使用的濾色器基板的一構成例的俯視圖。

圖3是表示本發明的曝光裝置的光束點生成單元的一構成例的圖,
(a)為俯視圖,(b)為主視圖。

圖4是表示本發明的曝光裝置的光掃描單元的一構成例的圖,(a)
為立體圖,(b)為圖(a)的O箭頭方向的視圖。

圖5是表示本發明的曝光裝置的開關元件組裝體的一構成例的俯視
圖。

圖6是表示上述開關元件組裝體的各開關元件的動作的說明圖,(a)
表示斷開驅動狀態,(b)表示接通驅動狀態。

圖7是說明上述開關元件組裝體的形成方法的工序圖。

圖8是表示上述開關元件組裝體的其他形成方法的說明圖,示出最終
工序。

圖9是表示本發明的曝光裝置的開關元件組裝體與拍攝單元之間的位
置關系的說明圖。

圖10是表示本發明的曝光裝置的控制單元的構成的框圖。

圖11是表示對上述光掃描單元進行驅動的驅動信號波形的說明圖。

圖12是表示本發明的曝光裝置的曝光動作的說明圖。

圖13是表示通過上述曝光動作形成的曝光圖案的一例的說明圖。

具體實施方式

以下,基于附圖對本發明的實施方式進行詳細說明。圖1是表示本發
明的曝光裝置的實施方式的概要圖。該曝光裝置對由電光晶體材料構成的
開關元件進行驅動以生成規定的明暗圖案,并將該明暗圖案曝光在被曝光
體上,且具備:輸送單元1、曝光光學構件2、拍攝單元3、以及控制單元
4。以下,針對被曝光體為濾色器基板的情況進行說明。

圖2是使用于本發明的曝光裝置的濾色器基板5的俯視圖。該濾色器
基板5是在透明的玻璃基板的表面形成具備矩陣狀的使光透射的多個像素
6的黑矩陣而成的。

上述輸送單元1,將涂布了規定的彩色抗蝕劑的濾色器基板5載置在
底座(stage)7的上表面并向一個方向(圖1所示的箭頭A方向)連續進
行輸送,例如通過使電動機和齒輪等進行組合而構成的移動機構對底座7
進行移動。或者,也可以在底座7的表面具備氣體的噴出口以及吸入口,
使氣體噴出力出以及吸入力平衡來使濾色器基板5在底座7上以規定量浮
起的狀態下進行輸送。并且,在輸送單元1設置用于對濾色器基板5的移
動距離進行測量的位置傳感器(省略圖示)。

在上述輸送單元1的上方設置曝光光學構件2。該曝光光學構件2,
對光源光L1進行光調制來生成規定的明暗圖案的曝光光L2,將該曝光光
L2向濾色器基板5的表面進行照射來對濾色器基板5的對應像素6上的彩
色抗蝕劑進行曝光,且從光的前進方向的上游側起依次具備:光源裝置8、
光束點生成單元9、光掃描單元10、圖案產生器11、以及投影透鏡12。

在此,上述光源裝置8使具有均勻的亮度分布的光源光L1的平行光向
后述的光束點生成單元9進行照射,且其構成具備:放射紫外線的激光光
源;對從該激光光源放射的光源光L1的光束直徑進行擴大的光束擴展器;
使光束直徑被擴大了的光源光L1的亮度分布均勻化的例如光學積分器;將
亮度分布均勻化了的光源光L1變成平行光的聚束透鏡。

另外,上述光束點生成單元9接受光源光L1后在圖1中沿著與箭頭A
所示的基板輸送方向正交的方向以排列間距W1相互錯開地至少排列2列
以生成多個光束點,具體而言,如圖3所示,是在透明基板14的表面將
多個聚光透鏡13例如排列成2列而成的微透鏡陣列。這種情況下,2列的
透鏡列15的間隔被設定W2。另外,在各聚光透鏡13的周圍形成遮光膜
16,以切斷光的透射。

進而,上述光掃描單元10使上述光束點生成單元9生成的多個光束
點沿著與基板輸送方向(箭頭A方向)正交的方向上(上述多個聚光透鏡
13的排列方向)在各自的規定的范圍內進行往返掃描,如圖4(a)所示,
在方形塊狀的電光晶體材料17的對置側面17a,使規定寬度的一對帶狀電
極18按照其長邊中心軸與上述側面17a的長寬中任一方的中心軸之間呈
規定角度的方式形成傾斜,使光在該一對電極18之間通過。這種情況下,
若對兩個電極18之間施加電場,則由兩個電極18夾持的部分的電光晶體
材料17的折射率發生變化,會在該兩個電極18所夾持的部分與其他部分
之間(界面17b)產生折射率差。因此,根據該折射率差,光源光L1在上
述界面17b折射。因而,當使光掃描單元10在上述電極18之間的電場改
變來使上述界面17b的折射率差改變時,如該圖4(b)所示,從光掃描單
元10射出的光源光L1以規定的擺角θ進行擺動,光束點19在該圖所示的
箭頭B,C方向上在后述的開關元件21(圖5參照)上進行往返掃描。

進而,另外,上述圖案產生器11通過后述的控制單元4(圖10參照)
而控制,對光源光L1進行光調制來生成規定的明暗圖案(曝光光L2),
如圖4(b)所示,使多個光束點19的往返掃描的中心與各自的中心軸一
致地來形成多個開關元件21,該多個開關元件21沿著圖5中箭頭B、C
所示的光束點19的掃描方向(與圖1中箭頭A所示的基板輸送方向正交
的方向)以排列間距W1相互錯開地排列配置成2列,與上述光束點19的
掃描方向(箭頭B、C方向)對應的寬度W3(在本實施方式中,由W3=
W1表示)被形成為比光束點19在同方向的寬度W4更大,并且在與平行
于光束點19的掃描方向的側面對置地設置了一對電極20,形狀為方柱狀,
且由電光晶體材料構成。另外,2列開關元件列22a、22b的中心線間距離,
與光束點生成單元9的2列透鏡列15的中心線間距離W2相等。并且,圖
案產生器11的構成包含:具備上述多個開關元件21的開關元件組裝體23;
與光掃描單元10的入射側端面接近配置的偏振板24;以及與開關元件組
裝體23的射出側端面接近配置的偏振板25。這種情況下,兩個偏振板24、
25,呈使偏光軸相互正交的正交尼科耳(cross?Nicol)配置。

按照這樣構成的圖案產生器11,以如下方式執行動作。即,如圖6
所示,透過光束點生成單元9的聚光透鏡13的光源光L1,在由偏振板24
而成為直線偏光之后,入射至開關元件21的入射側端面21a。這種情況下,
如圖6(a)所示,當未對開關元件21的電極20施加電壓時,開關元件
21進行斷開驅動,通過開關元件21內的直線偏光的偏振面沒有旋轉。因
此,從開關元件21的射出側端面21b射出的直線偏光的偏振面,與偏振
板25的偏光軸正交,直線偏光被該偏振板25切斷。

另一方面,如圖6(b)所示,對開關元件21的電極20施加規定的電
壓后對開關元件21進行接通驅動時,通過該開關元件21內的直線偏光的
偏振面旋轉90°。因此,從開關元件21的射出側端面21b射出的直線偏
光的偏振面與偏振板25的偏光軸一致,直線偏光會通過偏振板25。這樣,
圖案產生器11通過根據規定的圖案對多個開關元件21進行接通/斷開驅
動,從而能夠生成被光調制成明暗的曝光光L2進行射出。

接著,針對上述開關元件組裝體23的形成方法參照圖7進行說明。

首先,在由如圖7(a)所示這樣的電光晶體材料構成的長條狀板材
26的一面,如圖7(b)所示,使用切割鋸與其長軸平行地形成深度D的
槽27,從而相對于長邊中心軸對稱地形成寬度W5的一對凸部28。這時,
兩個凸部28的中心線間隔被設為間隔W2。

接著,如圖7(c)所示,在與上述一對凸部28的長軸平行的兩個側
面以及槽27的底面部,采用公知的技術形成導電膜29。

接著,如圖7(d)所示,使用刀片的齒厚為W3(=W1)的切割鋸在
上述一對凸部28的短軸方向以間距2W3形成深度比上述槽27的深度D
更深的寬度W3(W3>W5)的分離槽30,將一對凸部28分斷成多個后形
成多個開關元件21。這時,在圖7(d)中,對于右側凸部28,將切割鋸
的刀片向箭頭E方向移動將右側凸部28分割,之后,對于左側凸部28,
將切割鋸的刀片向箭頭F方向移動以留下與右側凸部28的相鄰的分離槽
30之間對應的左側凸部28部分,來分斷左側凸部28。這樣,便形成多個
開關元件21相互錯開地排列成2列的開關元件組裝體23。這種情況下,
若將沿長軸方向延伸的中央的槽27的底面部的導電膜29作為接地電極端
子,則通過各開關元件21的一對電極20,開關元件組裝體23的長邊中心
軸側的電極20便成為接地電極。

圖8是表示上述開關元件組裝體23的其他形成方法的說明圖。如圖8
所示,對于在與圖7(c)所示的一對凸部28的長軸平行的側面以及槽27
的底面部形成了導電膜29的電光晶體材料的長條狀板材26,使用切割鋸,
使深度比上述槽27的深度D更深的分離槽30相對于上述一對凸部28形
成傾斜,并將一對凸部28分斷為多個。這時,通過適當地設定一對凸部
28的中心線間隔W2以及上述分離槽的相對于一對凸部28的長軸的傾斜
角度φ,從而能夠使從基板移動方向(箭頭A方向)看相鄰的開關元件
21的端部21c如該圖8中虛線所示那樣交疊(overlap)。這樣,在一邊對
濾色器基板5沿著圖1中箭頭A方向進行移動一邊進行曝光時,通過在基
板移動方向上先后存在的開關元件21的端部21c進行反復曝光,能夠避
免在曝光圖案的一部產生未曝光部的問題。這種情況下,如圖8所示,由
于將開關元件21的端部21c傾斜地進行切除,因此基于該端部21c的平
均曝光量成為在形成直角的端部21c的情況下的曝光量的一半。因此,通
過上述反復曝光得到規定的曝光量,能進行規定深度的曝光。因而,能夠
避免因反復曝光導致的過量曝光的問題。

另外,上述投影透鏡12,將由上述圖案產生器11生成的明暗圖案縮
小投影在濾色器基板5面上,且投影透鏡12的構成包含:成像透鏡31、
和物鏡32。

在上述曝光光學構件2的跟前側,朝向基板輸送方向(箭頭A方向)
設置拍攝單元3。該拍攝單元3對濾色器基板5表面進行拍攝,是與基板
輸送方向大致正交地將多個受光元件排列成一條直線狀的線式相機,如圖
9所示,相對于開關元件組裝體23的朝向基板輸送方向處于跟前側的開關
元件列22a的中心軸,僅隔開距離L而配置。這種情況下,將開關元件組
裝體23和拍攝單元3相互定位后進行配置,開關元件組裝體23的開關元
件21A與拍攝單元3在長邊中心軸上的位置x1~x2對應,開關元件21B
與位置x2~x3對應,開關元件21C與位置x3~x4對應,開關元件21D與
位置x4~x5對應,開關元件21E與位置x5~x6對應,開關元件21F與位置
x6~x7對應。另外,與拍攝單元3的拍攝位置對置地在底座7的下側,設
置省略圖示的照明單元,對濾色器基板5的上述拍攝位置進行照明以能夠
由拍攝單元3進行基板表面的拍攝。

與上述輸送單元1、光掃描單元10、圖案產生器11的開關元件組裝
體23、以及拍攝單元3電連接地設置控制單元4。該控制單元4對各構成
要素適當地進行驅動,如圖10所示,具備:圖像處理部33、運算部34、
存儲器35、輸送單元驅動控制器36、光掃描單元驅動控制器37、開關元
件驅動控制器38、以及控制部39。

在此,上述圖像處理部33對由拍攝單元3獲取的濾色器基板5的像
素6的一維圖像進行處理,來對亮度驟變的位置進行檢測,并檢測該位置
為像素6的邊緣部的位置。

另外,上述運算部34,基于輸送單元1的位置傳感器的輸出來計算濾
色器基板5的移動距離,當濾色器基板5移動和預先設定并保存在后述的
存儲器35中的拍攝單元3與開關元件組裝體23的各開關元件列22a、22b
之間的距離L、(L+W2)相等的距離時,對后述的開關元件驅動控制器
38發出驅動指令。

進而,上述存儲器35預先對激光光源功率、以及拍攝單元3與開關
元件組裝體23的各開關元件列22a、22b之間的距離L、(L+W2)等初
始設定值的數據進行保存,并且對運算部34中的運算結果以及由圖像處
理部33檢測到的像素6的邊緣部的位置數據進行臨時保存。

另外,上述輸送單元驅動控制器36對輸送單元1的移動機構進行驅
動來使底座7在圖1中沿著箭頭A方向以恒定速度連續移動。

進而,上述光掃描單元驅動控制器37向光掃描單元10發送圖11所
示的鋸齒狀的驅動信號,使在光掃描單元10中的由帶狀電極18所夾持的
部分與其他部分之間的界面17b產生的折射率差在規定范圍內連續發生變
化,使從光掃描單元10射出的激光的光束點19在規定的范圍內往返掃描。
這種情況下,由于光束點19的掃描速度依賴于上述鋸齒狀的驅動信號的
反復周期,因此對驅動信號的反復周期進行控制來使光束點19的掃描速
度與輸送單元1的底座7的移動速度(與濾色器基板5的移動速度相等)
同步。另外,光束點19的掃描速度,通常,按照濾色器基板5在前進距
離W5(W5與開關元件21在基板輸送方向的寬度相等)或者比該距離W5
短的距離期間往返掃描一次的方式被設定。另外,在本實施方式中,光束
點19的掃描速度,相對于濾色器基板5的移動速度被設定為足夠快。另
外,按照光束點19返回的掃描速度成為前往時的掃描速度的約10倍的方
式,將驅動信號的下降速度控制為上升速度的10倍。

進而,另外,上述開關元件驅動控制器38接受從運算部34傳送的驅
動指令,逐次讀出在存儲器35中保存的像素6的邊緣部的位置數據,并
將用于對與該位置數據對應的各開關元件21進行接通/斷開驅動的驅動信
號發送給開關元件組裝體23。這種情況下,開關元件驅動控制器38,在
進行往返掃描的光束點19的前去掃描期間將接通/斷開驅動信號發送給開
關元件組裝體23,在光束點19的返回掃描期間,發送斷開驅動信號。

然后,上述控制部39,是按照適當地驅動上述各要素的方式進行控制
的CPU。

接著,針對按照這樣構成的曝光裝置的動作進行說明。

首先,將涂布了規定的彩色抗蝕劑的濾色器基板5定位并載置在輸送
單元1的底座7上的規定位置。然后,當接通起動開關時,輸送單元1被
控制單元4的輸送單元驅動控制器36控制而起動,濾色器基板5向圖1
所示的箭頭A方向以恒定速度被輸送。

當濾色器基板5被輸送而到達拍攝單元3的拍攝位置時,通過拍攝單
元3來拍攝濾色器基板5的表面,該一維的拍攝圖像在控制單元4的圖像
處理部33中被進行圖像處理。這時,在圖像處理部33中,檢查上述拍攝
圖像在與基板輸送方向(箭頭A方向)正交的方向的亮度變化,將亮度超
過規定的閾值而驟變的位置檢測作為像素6(明部)的邊緣部。

具體而言,如圖12(a)所示,當濾色器基板5被輸送,若像素6的
基板輸送方向開頭端到達拍攝單元3的拍攝位置,則基于這時所拍攝的拍
攝圖像,檢測例如線P1上的像素6(明部)的邊緣部的位置x8,x9,x10,
x11…,并將該位置數據保存在存儲器35。這種情況下,如果按照每隔兩
個對像素6(明部)進行檢測的方式進行預先設定,則能夠忽略位于相同
顏色(例如紅色)的相鄰兩個像素6R之間的其他顏色(例如綠色、藍色)
的像素6G、6B。

當在圖12(a)中將濾色器基板5向箭頭A方向進行輸送,使線P1
與開關元件組裝體23的開關元件列22a的中心軸一致時,通過該開關元
件列22a的各開關元件21選擇性地對線P1上的規定位置進行曝光。即,
線P1上的位置x8,x3之間、位置x4,x9之間以及位置x12,x13之間,分別
由開關元件21C,21E,21K擔當進行曝光。這種情況下,開關元件21C
僅在光束點19對位置x8,x3之間進行掃描期間由開關元件驅動控制器38
進行控制而被接通驅動。同樣地,開關元件21E,僅在光束點19對位置
x4,x9之間進行掃描期間被接通驅動,開關元件21K,僅在光束點19對位
置x12,x13之間進行掃描期間被接通驅動。這樣,如該圖中交叉陰影所示,
像素6R上的位置x8,x3之間、位置x4,x9之間以及位置x12,x13之間的
區域被曝光。這時,開關元件列22a的開關元件21A、21G、21I、21M
被斷開驅動。另外,開關元件21上的光束點19的位置與基于光掃描單元
10的激光光束的擺角θ相關,該激光光束的擺角θ與基于光掃描單元驅動
控制器37的驅動信號電壓相關。因此,開關元件21上的光束點19的位
置根據上述驅動信號電壓便能夠得知。

之后,一邊對光束點19進行往返掃描,一邊與上述同樣地對開關元
件列22a的各開關元件21進行驅動,對以恒定速度正在移動的濾色器基
板5執行曝光。另外,圖12(a)中,在光束點19進行一次往返期間,基
于在向與線P1的箭頭A相反的方向逐次偏離了與濾色器基板5移動的距
離相等的距離的位置所拍攝的圖像數據,對上述各開關元件21進行驅動
來進行該曝光。

然后,如圖12(b)所示,當移動濾色器基板5以使線P1與開關元件
列22b的中心軸一致時,通過該開關元件列22b的各開關元件21B、21D、
21F、21H、21J、21L選擇性地對線P1上的規定位置選擇性地進行曝光。
即,線P1上的位置x4、x5之間、位置x10,x12之間以及位置x13,x11之間,
與上述同樣地分別由開關元件21D、21J、21L擔當進行曝光。這時,開關
元件21B、21F、21H被斷開驅動。

另一方面,從存儲器35讀出相對于線P1沿著與箭頭A相反的方向偏
離了W2的線P2上的像素6R的邊緣部的位置數據,通過開關元件驅動控
制器38來驅動開關元件列22a的各開關元件21。然后,線P2上的像素6R
的位置x3,x4之間通過開關元件21C而被曝光,像素6R的位置x12,x13
之間通過開關元件21K而被曝光。這時,開關元件21A、21E、21G、21J、
21M被斷開驅動。

之后,對于以恒定速度正在移動的濾色器基板5,一邊往返掃描光束
點19,一邊由開關元件列22a對像素6R上的規定位置先行進行曝光,并
且由開關元件列22b對開關元件列22a的各開關元件21之間的部分進行
插補曝光。這樣,如圖13中交叉陰影所示,像素6R上被曝光而形成規定
的曝光圖案40。如本實施方式所示,在光束點的掃描速度比濾色器基板5
的移動速度足夠快的情況下,如圖13所示,能夠使相對于基板輸送方向
斜向交叉的曝光圖案的邊緣部或圓形曝光圖案的邊緣部光滑地形成。另
外,由于能夠對與基板輸送方向正交的方向的光束點的照射位置模擬地進
行控制,因此與現有技術的數字控制不同,能夠進行更加致密的圖案曝光。

另外,在上述實施方式中,雖然針對開關元件組裝體23由2列開關
元件列22a、22b構成的情況進行了說明,但本發明并不限于此,也可以
將2列開關元件列22a、22b作為一組,將多個組沿基板輸送方向以規定
間距排列配置。這樣,便能夠通過多組的開關元件列22a、22b的各開關
元件21對濾色器基板5在像素6的區域進行多重曝光,能夠降低激光光
源的功率而減輕激光光源的負擔

另外,在上述實施方式中,雖然針對光束點生成單元9為微透鏡陣列
的情況進行了說明,但本發明并非限于此,光束點生成單元9也可以是將
多個開口在平面內排列而成的光掩模。

進而,在上述實施方式中,雖然針對光掃描單元10在方形塊狀的電
光晶體材料17的對置側面17a,使規定寬度的一對帶狀電極18按照其長
邊中心軸與側面18的長寬中任一方的中心軸之間呈規定角度的方式形成
傾斜的情況進行了說明,但本發明并非限于此,只要光掃描單元10是例
如電磁致動器或聲響光學元件等、能夠往返掃描激光光束的元件即可。

并且,以上說明中,雖然針對被曝光體為濾色器基板5的情況進行了
描述,但本發明并非限于此,被曝光體也可以是例如電路基板等任意部件。

符號的說明

5…濾色器基板(被曝光體)

9…光束點生成單元

10…光掃描單元

12…投影透鏡

13…聚光透鏡

17…電光晶體材料

17a…對置側面

18,20…電極

19…光束點

21,21A~21M…開關元件

L1…光源光

L2…曝光光

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