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一種批處理機臺派貨的方法和裝置.pdf

關 鍵 詞:
一種 批處理 機臺 方法 裝置
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摘要
申請專利號:

CN201110115247.4

申請日:

2011.05.05

公開號:

CN102768941B

公開日:

2015.01.28

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):H01L 21/00申請日:20110505|||公開
IPC分類號: H01L21/00 主分類號: H01L21/00
申請人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
發明人: 呂慶麟; 陳波; 范安濤; 錢紅兵; 趙晨
地址: 201203 上海市浦東新區張江路18號
優先權:
專利代理機構: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018 代理人: 牛崢;王麗琴
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201110115247.4

授權公告號:

102768941B||||||

法律狀態公告日:

2015.01.28|||2012.12.26|||2012.11.07

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

本發明提供了一種批處理機臺派貨的方法和裝置,該方法通過比較每個晶片組在批處理機臺中執行工序的配方參數和該批處理機臺的待處理晶片組的當前配方參數,優先處理配方參數相同晶片組的當前工序,向批處理機臺派貨,使得批處理機臺盡快得到能夠和待處理晶片組一起批處理的晶片組,從而減少了派貨的等待時間,保證派貨的正確性和靈活性,避免由于缺少可供批處理的晶片組派貨使批處理機臺無法進行批處理的問題,因此提高了生產效率節約了半導體制造的成本。

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本文標題:一種批處理機臺派貨的方法和裝置.pdf
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