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襯底處理設備和襯底處理方法.pdf

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襯底 處理 設備 方法
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摘要
申請專利號:

CN201110453876.8

申請日:

2011.12.30

公開號:

CN102723257B

公開日:

2015.01.14

當前法律狀態:

有效性:

法律詳情: 專利權的轉移IPC(主分類):H01L 21/02登記生效日:20171012變更事項:專利權人變更前權利人:AP系統股份有限公司變更后權利人:AP系統股份有限公司變更事項:地址變更前權利人:韓國京畿道華城市東攤面中里605變更后權利人:韓國京畿道華城市東灘面東灘產團8便道15-5變更事項:共同專利權人變更前權利人:三星顯示有限公司變更后權利人:三星顯示有限公司|||授權|||專利申請權的轉移IPC(主分類):H01L 21/02變更事項:申請人變更前權利人:AP系統股份有限公司變更后權利人:AP系統股份有限公司變更事項:地址變更前權利人:韓國京畿道華城市東攤面中里605變更后權利人:韓國京畿道華城市東攤面中里605變更事項:申請人變更前權利人:三星電子株式會社變更后權利人:三星顯示有限公司登記生效日:20130314|||著錄事項變更IPC(主分類):H01L 21/02變更事項:申請人變更前:AP系統股份有限公司變更后:AP系統股份有限公司變更事項:地址變更前:韓國京畿道華城市東攤面中里605變更后:韓國京畿道華城市東攤面中里605變更事項:申請人變更前:三星電子股份有限公司變更后:三星電子株式會社|||實質審查的生效IPC(主分類):H01L 21/02申請日:20111230|||公開
IPC分類號: H01L21/02; B05C9/02 主分類號: H01L21/02
申請人: AP系統股份有限公司; 三星顯示有限公司
發明人: 金相淳; 程成德; 金奎完; 李允鎬
地址: 韓國京畿道華城市東攤面中里605
優先權: 2010.12.30 KR 10-2010-0138466
專利代理機構: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 代理人: 韓明星
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201110453876.8

授權公告號:

|||102723257B||||||||||||

法律狀態公告日:

2017.10.31|||2015.01.14|||2013.04.03|||2013.04.03|||2012.11.28|||2012.10.10

法律狀態類型:

專利申請權、專利權的轉移|||授權|||專利申請權、專利權的轉移|||著錄事項變更|||實質審查的生效|||公開

摘要

提供一種襯底處理設備和襯底處理方法。襯底處理設備包含:第一和第二分配單元,其經配置以涂布原料,第一和第二分配單元相對于彼此獨立移動;處理框,其經配置以使用第一和第二分配單元將原料實際涂布到待處理的襯底上;第一測試框,其安置在處理框的一側上以維護和修復第一分配單元;第二測試框,其安置在處理框的另一側上以維護和修復第二分配單元;以及托臺移動部件,其安置在處理框、第一測試框和第二測試框上方以水平移動第一和第二分配單元。

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本文標題:襯底處理設備和襯底處理方法.pdf
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