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自動化料盤移運機臺.pdf

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自動化 料盤移運 機臺
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摘要
申請專利號:

CN201210201909.4

申請日:

2012.06.19

公開號:

CN102738051B

公開日:

2015.01.14

當前法律狀態:

有效性:

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):H01L 21/677申請日:20120619|||公開
IPC分類號: H01L21/677; B65G43/00 主分類號: H01L21/677
申請人: 致茂電子(蘇州)有限公司
發明人: 陳建名
地址: 215000 江蘇省蘇州高新區竹園路9-1號獅山工業園六號廠房
優先權:
專利代理機構: 北京天平專利商標代理有限公司 11239 代理人: 孫剛
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201210201909.4

授權公告號:

102738051B||||||

法律狀態公告日:

2015.01.14|||2012.12.26|||2012.10.17

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

一種自動化料盤移運機臺,用于搬運承載多個待測晶片的料盤,并以測試裝置依序讓每一個待測晶片進行測試及分類,該自動化料盤移運機臺包含一用以承載具有多個待測晶片的料盤的進料匣、一用以接收自該進料匣所輸入的料盤的待測區、一組分料匣、一組次品收料匣及至少一個X-Y-Z三軸向搬移機構,其中該分料匣具有一用以接收承置空載料盤的暫置區及一堆疊區,另外該次品收料匣配置于該分料匣的相對側,具有一用以接收承置空載料盤的暫置區及一堆疊區。本發明能夠于更換料盤的過程中不需暫停作業,節省人力搬運成本,使單位時間得到最大的待測物測試量。

權利要求書

1.一種自動化料盤移運機臺,用于搬運承載多個待測晶片的料盤,其特征在于,
該移運機臺包含:
一進料匣,用以承載具有多個待測晶片的料盤;
一待測區,用以接收自該進料匣所輸入的料盤;
一組分料匣,具有一暫置區及一堆疊區,該暫置區用以接收承置料盤,該堆疊
區用以接收來自該暫置區的料盤并順序堆疊;
一組次品收料匣,配置于該分料匣的相對側,具有一暫置區及一堆疊區,該暫
置區用以接收承置料盤,該堆疊區用以接收來自該暫置區的料盤并順序堆疊;以及
一X-Y-Z三軸向搬移機構,移動于該待測區、分料匣及次品收料匣的范圍間,
該X-Y-Z三軸向搬移機構具有一組取放器,用以攜行料盤由該待測區搬運至該分料
匣的暫置區、該次品收料匣的暫置區。
2.如權利要求1所述的自動化料盤移運機臺,其特征在于,鄰接于該待測區位
置設置有一緩沖區,用以放置料盤。
3.如權利要求1或第2所述的自動化料盤移運機臺,其特征在于,該X-Y-Z三
軸向搬移機構以X軸向作動于該待測區與該分料匣的暫置區間。
4.如權利要求1或第2所述的自動化料盤移運機臺,其特征在于,該X-Y-Z三
軸向搬移機構的取放器具有一伸縮機構,通過X-Y軸向作動使該取放器所攜行的料
盤直接搬移至該次品收料匣的暫置區。
5.如權利要求1所述的自動化料盤移運機臺,其特征在于,該分料匣的暫置區
及堆疊區之間具有一組導引裝置,使該暫置區內料盤能夠導入該分料匣的堆疊區。
6.如權利要求1所述的自動化料盤移運機臺,其特征在于,該次品收料匣的暫
置區及堆疊區之間具有一組導引裝置,使該暫置區內料盤能夠導入該次品收料匣的
堆疊區。
7.如權利要求1所述的自動化料盤移運機臺,其特征在于,鄰接該次品收料匣
還具有一緩沖位置可供放置至少一個空載料盤。

說明書

自動化料盤移運機臺

技術領域

本發明關于一種自動化料盤移運機臺,特別是指一種能夠將空載料盤由搬移機
構移載至分料匣或次品收料匣的任一暫置區的自動化料盤移運機臺。

背景技術

業界習用于承載半導體晶片的料盤的供給模式,依測試結果將完測的晶片分置
于各級別的收料處,因此當進行分料程序時,主要藉由一移載臂將空料盤先移至所
設定的等待位置,并由晶片取放器將晶片取出并放至該空料盤上;待料盤滿料之后,
移載臂再將已滿載的料盤移送至一滿載料盤儲存區,之后,再將一新的空料盤載入
至所設定的等待位置,以便繼續進行分料程序。

但上述的料盤供給模式,于出料的過程中,由于通過一移載臂進行搬運移轉且
滿載料盤儲存區與整體機臺連動,因此當料盤滿料后,整體作業必須暫時停止讓滿
載的料盤運送至該滿載料盤儲存區,并更換新的空料盤,才能夠繼續開始下一輪的
作業;另外,當已滿載的料盤運送至該滿載料盤儲存區后,作業人員必須手動將已
滿載的料盤搬走,以維持下一個滿載料盤能夠置放的空間,因此習知處理已滿載的
料盤除了必須先由移載臂運送至該滿載料盤儲存區后,更需要多一次人力的搬移程
序,如此將會造成人力成本的額外過度支出,停機等待時間的浪費也直接造成測試
成本的增加。

因此,若能夠于料盤已滿載后,機臺上的計算機可將已滿載的料盤能夠受控制
指令而自動移送至一堆疊區,而該堆疊區更能夠受控制指令而自動升降以導入多個
已滿載的料盤,且移載臂能夠受控制指令而自動將空料盤自可提供空料盤處搬移至
所設定的等待位置,因此能夠于更換料盤的過程中不需暫停作業,同時亦能夠節省
多余的人力成本,如此應為一最佳解決方案。

發明內容

本發明的主要目的在于能夠自進料區輸入待測區的滿載料盤,在待測物逐一取
出測試后成為空載料盤,該空載料盤由搬移機構直接移載至分料匣或次品收料匣的
任一暫置區作為供完測待測物置放的料盤。

本發明的次一目的在于提供一種自動化料盤移運機臺,用以將每一個暫置區上
已滿載的料盤自動化移運至堆疊區中并順序堆疊存放。

可達成上述目的的自動化料盤移運機臺,用于搬運承載多個待測晶片的料盤,
并以測試裝置依序讓每一個待測晶片進行測試及分類,該自動化料盤移運機臺包含
一進料匣,用以承載具有多個待測晶片的料盤;一待測區,用以接收自該進料匣所
輸入的料盤;一組分料匣,具有一暫置區及一堆疊區,該暫置區用以接收承置空載
料盤,該堆疊區用以接收來自該暫置區的滿載料盤并順序堆疊;一組次品收料匣,
配置于該分料匣的相對側,具有一暫置區及一堆疊區,該暫置區用以接收承置空載
料盤,該堆疊區用以接收來自該暫置區的滿載料盤并順序堆疊;以及至少一個X-Y-Z
三軸向搬移機構,移動于該待測區、分料匣及次品收料匣的范圍間,該X-Y-Z三軸
向搬移機構具有一組取放器,用以攜行空載料盤由該待測區搬運至該分料匣的暫置
區與該次品收料匣的暫置區。

更具體的說,所述X-Y-Z三軸向搬移機構以X軸向作動于該待測區與該分料匣
的暫置區間。

更具體的說,所述X-Y-Z三軸向搬移機構的取放器具有一伸縮機構,使該取放
器所攜行的空載料盤自該待測區直接搬移至該次品收料匣的暫置區。

更具體的說,所述分料匣的暫置區及堆疊區之間具有一組導引裝置,使該暫置
區內滿載晶片的料盤能夠導入該分料匣的堆疊區。

更具體的說,所述次品收料匣的暫置區及堆疊區之間具有一組導引裝置,使該
暫置區內滿載晶片的料盤能夠導入該次品收料匣的堆疊區。

更具體的說,所述鄰接該次品收料匣還具有一緩沖位置可供放置至少一個空載
料盤。

更具體的說,所述鄰接于該待測區位置設置有一緩沖區,用以放置空載料盤。
該緩沖區用以調節空載料盤以及滿載料盤的輸入輸出的時間差。

本發明所提供的一種自動化料盤移運機臺,與其他習用技術相互比較時,更具
備下列優點:

1.本發明能夠移送已滿載的料盤至一堆疊區,而該堆疊區更能夠升降以導入多
個已滿載的料盤。

2.搬移機構能夠將空料盤搬移至所設定的等待位置,因此能夠于更換料盤的過
程中不需暫停作業,節省人力搬運成本,使每小時單位時間(UPH)得到最大的待
測物測試量。

附圖說明

圖1:為本發明自動化料盤移運機臺的實施架構圖;

圖2A:為本發明自動化料盤移運機臺的空載料盤搬運至分料匣的暫置區的實
施示意圖;以及

圖2B:為本發明自動化料盤移運機臺的空載料盤搬運至次品收料匣的暫置區
的實施示意圖。

具體實施方式

有關于本發明的前述及其他技術內容、特點與功效,在以下配合參考圖式的較
佳實施例的詳細說明中,將可清楚的呈現。

請參閱圖1,為本發明自動化料盤移運機臺的實施架構圖,由圖中可知,該本
發明的自動化料盤移運機臺用于搬運承載多個待測晶片7(亦稱待測集成電路元件;
IC)的料盤11,并由一組測試手臂(圖未示)自料盤11取出待測晶片7及通過測
試裝置9依序讓每一個測試完畢的待測晶片7進行測試及分類,該測試裝置9將視
待測物的測試需求提供不同的測試訊號。該自動化料盤移運機臺包含用以承載具有
多個待測晶片7的料盤11的進料匣1、用以接收自該進料匣1所輸入的料盤11的
待測區2、一組分料匣3、一組次品收料匣4及至少一個移動于該待測區2、分料
匣3及次品收料匣4的范圍間的X-Y-Z三軸向搬移機構5,其中該分料匣3具有一
暫置區31及一堆疊區32,該暫置區31用以接收承置來自待測區2、緩沖區21或
預先置放的空載料盤11,而該堆疊區32用以接收來自該暫置區31的滿載料盤11
并順序堆疊(為方便閱讀及標號一致,料盤11上已滿載晶片稱為滿載料盤11,料
盤11上未承載晶片稱為空載料盤11)。

鄰接于待測區2位置處設置有一個緩沖區21,該緩沖區21具有調節空載料盤
11以及滿載料盤11的輸入輸出的時間差的作用。舉例來說,若待測區2的料盤11
因測試取件使該料盤11上的待測晶片7已經取完而成為空載料盤11時,同一時間
分料匣3或次品收料匣4的暫置區31、41料盤尚未被完測待測物填滿時,此時空
載料盤11將會被X-Y-Z三軸向搬移機構5先行移至緩沖區21,等待適當時機再移
載。

該次品收料匣4配置于該分料匣3的相對側,具有暫置區41及堆疊區42,暫
置區41用以接收承置來自待測區2、緩沖區21或預先制置放的空載料盤11,堆疊
區42用以接收來自暫置區41的滿載料盤11并順序堆疊。X-Y-Z三軸向搬移機構5
具有一組取放器51,用以攜行空載料盤11由待測區2搬運至分料匣3的暫置區31
與次品收料匣4的暫置區41,而取放器51具有一組伸縮機構52,如圖2A及圖2B
所示,當X-Y-Z三軸向搬移機構5于X軸向作動于待測區2與分料匣3的暫置區
31間時,能夠將取放器51所攜行的空載料盤11自待測區2或緩沖區21直接搬移
至分料匣3的暫置區31;或是于移動至分料匣3的暫置區31上時延伸伸縮機構52,
并通過X-Y軸向作動將取放器51所攜行的空載料盤11自待測區2或緩沖區21直
接搬移至次品收料匣4的暫置區41,最終以Z軸向作動放置空載料盤11。該取放
器51對于料盤的攜行方式,熟悉本項技藝人士可知,譬如通過:以機構件夾持料
盤、真空吸取料盤等方式為之皆可達成。

另外,分料匣3的暫置區31及堆疊區32之間具有一組導引裝置33,使暫置
區31內滿載完測晶片8的滿載料盤11能夠導入分料匣3的堆疊區32;而次品收
料匣4的暫置區41及堆疊區42之間亦具有一組導引裝置43,使暫置區41內滿載
完測晶片8的滿載料盤11能夠導入次品收料匣4的堆疊區42;因此,當分料匣3
的暫置區31或是次品收料匣4的暫置區41上的料盤11已滿載時,分料匣3的暫
置區31(或是次品收料匣4的暫置區41)均能藉由導引裝置33(或導引裝置43)
將滿載料盤11導入分料匣3的堆疊區32(或次品收料匣4的堆疊區42),使分料
匣3的暫置區31(或次品收料匣4的暫置區41)上具有空間能夠承置新的空載料
盤11。前述導引裝置33、43將暫置區31、41及堆棧區32、42之間導引連結,譬
如:通過一組軌道、架設在料盤下的滑車或傳動軸等多種控制方式均可以達成導引
裝置33、43所預期的將暫置區上已滿載的料盤自動化移運至堆疊區中并順序堆疊
存放效果。

另外,鄰接該次品收料匣4設置有緩沖位置6供放置至少一個空載料盤11,
當該X-Y-Z三軸向搬移機構未更換新料盤11、而次品收料匣4的暫置區41上的料
盤11已滿載時或其他原因需要人工更換料盤11時,則能先暫時將已完測晶片8置
放該緩沖位置6上的空載料盤11上,使機臺運作更具有彈性。

藉由以上較佳具體實施例的詳述,希望能更加清楚描述本發明的特征與精神,
而并非以上述所揭露的較佳具體實施例來對本發明的范疇加以限制。相反地,其目
的是希望能涵蓋各種改變及具相等性的安排于本發明所欲申請的專利范圍的范疇
內。

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