鬼佬大哥大
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掩模
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摘要
申請專利號:

CN201110441446.4

申請日:

2011.12.26

公開號:

CN102560409B

公開日:

2015.01.07

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):C23C 16/04申請日:20111226|||公開
IPC分類號: C23C16/04; H01L51/56 主分類號: C23C16/04
申請人: 樂金顯示有限公司
發明人: 李宰赫; 申榮訓
地址: 韓國首爾
優先權: 2010.12.28 KR 10-2010-0136464
專利代理機構: 北京三友知識產權代理有限公司 11127 代理人: 李輝;呂俊剛
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201110441446.4

授權公告號:

102560409B||||||

法律狀態公告日:

2015.01.07|||2012.09.12|||2012.07.11

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

公開了一種可用于在淀積設備中在襯底上形成圖案的掩模,以及使用該掩模來制造顯示裝置的方法。所述掩模包括掩模圖案和框架。該掩模具有漸縮形狀,其中該框架的內表面在從上端到下端的方向上漸縮。使用該掩模的掩模圖案在襯底上形成薄膜圖案。所述框架支持所述掩模圖案的外部,并且包括在設置所述掩模圖案的內側方向漸縮的斜面。

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本文標題:掩模.pdf
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